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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理裝置及基板處理方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114446823B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111269772.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法是由高橋朋宏設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-10-29向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種基板處理裝置及基板處理方法。基板處理裝置100具備：基板保持部120，保持配列成沿列方向排成一列的基板列的多個基板W；處理槽110，貯存用以浸漬由基板保持部120保持的基板W的處理液L；及多個氣泡產(chǎn)生管136，通過對處理液L供給氣體而在處理液L中產(chǎn)生氣泡。多個氣泡產(chǎn)生管136中，對位于浸漬在處理液L中的基板列的端部下方的端部氣泡產(chǎn)生管136b、136c供給的氣體的流量，多于對位于基板列的中央下方的中央氣泡產(chǎn)生管136a供給的氣體的流量。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，具備： 基板保持部，保持配列成沿列方向排成一列的基板列的多個基板； 處理槽，貯存用以浸漬由所述基板保持部保持的基板的處理液； 多個氣泡產(chǎn)生管，通過對所述處理液供給氣體而在所述處理液中產(chǎn)生氣泡； 多個氣體供給管，與所述多個氣泡產(chǎn)生管連接； 流量控制機構(gòu)，控制流經(jīng)所述多個氣體供給管的氣體的流量； 壓力計，測定流經(jīng)與所述多個氣泡產(chǎn)生管中位于浸漬在所述處理液中的所述基板列的端部下方的端部氣泡產(chǎn)生管連接的氣體供給管的氣體的壓力、及流經(jīng)與位于所述基板列的中央部下方的中央氣泡產(chǎn)生管連接的氣體供給管的氣體的壓力；及 控制部，控制所述流量控制機構(gòu)； 所述控制部根據(jù)所述壓力計所測定出的流經(jīng)與所述端部氣泡產(chǎn)生管連接的氣體供給管的氣體的壓力、及流經(jīng)與所述中央氣泡產(chǎn)生管連接的氣體供給管的氣體的壓力而控制所述流量控制機構(gòu)，以使對所述端部氣泡產(chǎn)生管供給的氣體的流量多于對所述中央氣泡產(chǎn)生管供給的氣體的流量的方式，控制流經(jīng)所述多個氣體供給管的氣體的流量。

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