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龍圖騰網(wǎng)獲悉青島惠科微電子有限公司;青島惠芯微電子有限公司;北?；菘瓢雽?dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利定位裝置及擴(kuò)散爐獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114520177B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202210098808.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)定位裝置及擴(kuò)散爐是由宋修揚(yáng);孫軍旗;趙利;孫玉群設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-01-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本定位裝置及擴(kuò)散爐在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)公開(kāi)了一種定位裝置及擴(kuò)散爐，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括固定支架、角度調(diào)節(jié)裝置、角度傳感器、計(jì)算模塊、以及控制裝置；固定支架通過(guò)角度調(diào)節(jié)裝置與底座可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，碳硅槳的一端與固定支架水平連接，控制裝置設(shè)置在底座上，且與角度調(diào)節(jié)裝置連接；角度傳感器、計(jì)算模塊均設(shè)置在固定支架上，角度傳感器與計(jì)算模塊連接，計(jì)算模塊與控制裝置連接；角度傳感器用于記錄所述石英舟空載時(shí)所述碳硅槳的角度，和石英舟裝載硅片后碳硅槳的角度；計(jì)算模塊用于計(jì)算石英舟空載時(shí)和裝載硅片后碳硅槳的角度差值，并將信號(hào)傳輸給控制裝置；控制裝置控制角度調(diào)節(jié)裝置，將固定支架抬升一預(yù)設(shè)角度，且預(yù)設(shè)角度等于角度差值。本申請(qǐng)能夠糾正碳硅槳上料前后的位置誤差。

本發(fā)明授權(quán)定位裝置及擴(kuò)散爐在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種定位裝置，用于運(yùn)送石英舟，所述定位裝置包括碳硅槳、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和底座，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝在所述底座上；所述碳硅槳的一端與所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)連接，所述石英舟安裝在所述碳硅槳上； 其特征在于，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括固定支架、角度調(diào)節(jié)裝置、角度傳感器、計(jì)算模塊、以及控制裝置；所述固定支架通過(guò)所述角度調(diào)節(jié)裝置與所述底座可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述碳硅槳的一端與所述固定支架水平連接，所述控制裝置設(shè)置在所述底座上，且與所述角度調(diào)節(jié)裝置連接； 所述角度傳感器、所述計(jì)算模塊均設(shè)置在所述固定支架上，所述角度傳感器與所述計(jì)算模塊連接，所述計(jì)算模塊與所述控制裝置連接； 其中，所述角度傳感器用于記錄所述石英舟空載時(shí)所述碳硅槳的角度，和所述石英舟裝載硅片后所述碳硅槳的角度；所述計(jì)算模塊用于計(jì)算所述石英舟空載時(shí)和裝載硅片后所述碳硅槳的角度差值，并將信號(hào)傳輸給所述控制裝置；所述控制裝置控制所述角度調(diào)節(jié)裝置，將所述固定支架抬升一預(yù)設(shè)角度，且所述預(yù)設(shè)角度等于所述角度差值； 所述角度調(diào)節(jié)裝置包括調(diào)節(jié)板，所述控制裝置包括伺服電機(jī)，所述調(diào)節(jié)板設(shè)置在所述固定支架與所述底座之間，且與所述固定支架固定連接，所述調(diào)節(jié)板的一端與所述底座通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接；所述伺服電機(jī)與所述轉(zhuǎn)軸連接，所述伺服電機(jī)帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸，將所述調(diào)節(jié)板抬升至所述預(yù)設(shè)角度； 或者，所述控制裝置包括氣缸，所述角度調(diào)節(jié)裝置包括氣壓伸縮柱，所述氣壓伸縮柱的一端與所述氣缸連接，另一端與所述固定支架連接，所述氣缸帶動(dòng)所述氣壓伸縮柱運(yùn)動(dòng)，將所述固定支架抬升至所述預(yù)設(shè)角度。

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