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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國電子科技集團公司第五十五研究所申請的專利一種用于監(jiān)測工藝波動和提取開關(guān)管等效參數(shù)的芯片電路獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115184766B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210646197.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R31/28；該發(fā)明授權(quán)一種用于監(jiān)測工藝波動和提取開關(guān)管等效參數(shù)的芯片電路是由金輝;陶洪琪;王磊;余旭明;楊常林;陳峰;劉伶設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-06-08向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于監(jiān)測工藝波動和提取開關(guān)管等效參數(shù)的芯片電路在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種用于監(jiān)測工藝波動和提取開關(guān)管等效參數(shù)的芯片電路，屬于基本的電子電路的技術(shù)領(lǐng)域，微帶線、MIM電容、開關(guān)管、開關(guān)管柵極電阻、開關(guān)管柵極饋電壓點、輸入輸出壓點采用半導(dǎo)體工藝集成在襯底上。利用開關(guān)管關(guān)斷時的電容、寄生電感及電路中的微帶電感構(gòu)成第一個LC諧振頻點；利用開關(guān)管導(dǎo)通時的導(dǎo)通電阻、寄生電感與電路中的MIM電容以及微帶電感構(gòu)成第二個LC諧振頻點；通過擬合諧振曲線，提取開關(guān)管的等效參數(shù)。對本芯片電路進行在片測試，可以根據(jù)二端口網(wǎng)絡(luò)參數(shù)測試曲線兩個諧振頻點的偏移直接監(jiān)測工藝波動。

本發(fā)明授權(quán)一種用于監(jiān)測工藝波動和提取開關(guān)管等效參數(shù)的芯片電路在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于監(jiān)測工藝波動和提取開關(guān)管等效參數(shù)的芯片電路，其特征在于，包括： 第一微帶線，其一端為輸入鍵合壓點， 第二微帶線，其一端與所述第一微帶線的另一端連接， 第三微帶線，其一端與所述第一微帶線的另一端連接， 第四微帶線，其一端與所述第三微帶線的另一端連接， 第五微帶線，其一端與所述第三微帶線的另一端連接，其另一端為輸出鍵合壓點， 第一開關(guān)管，其漏極與所述第二微帶線的另一端連接，其柵極接第一開關(guān)管柵極電阻的一端，其源極接地，所述第一開關(guān)管柵極電阻的另一端為第一開關(guān)管柵極饋電壓點， MIM電容，其一極接所述第四微帶線的另一端，及， 第二開關(guān)管，其漏極接所述MIM電容的另一極，其柵極接第二開關(guān)管柵極電阻的一端，其源極接地，所述第二開關(guān)管柵極電阻的另一端為第二開關(guān)管柵極饋電壓點； 所述芯片電路用于提取開關(guān)管等效參數(shù)時： 向所述第一開關(guān)管柵極饋電壓點施加等效關(guān)斷電壓，所述第一開關(guān)管的關(guān)斷電容、漏極寄生電感、源極寄生電感及第二微帶線工作于第一LC諧振頻點， 向第二開關(guān)管柵極饋電壓點施加等效導(dǎo)通電壓，所述第二開關(guān)管導(dǎo)通時的導(dǎo)通電阻、漏極寄生電感、源極寄生電感、MIM電容及第四微帶線工作于第二LC諧振頻點， 根據(jù)第一LC諧振頻點和第二LC諧振頻點擬合諧振頻率曲線，擬合所述諧振頻率曲線得到第一開關(guān)管和第二開關(guān)管的導(dǎo)通電阻、關(guān)斷電阻、關(guān)斷電容、漏極寄生電感及源極寄生電感； 所述芯片電路用于監(jiān)測工藝波動時：向輸入鍵合壓點施加測試信號，通過輸出鍵合壓點采集測試信號的反饋信號，測量或仿真所述芯片電路的S21參數(shù)曲線，觀測所述S21參數(shù)曲線低頻諧振點和高頻諧振點的位置偏移情況，在所述低頻諧振點或高頻諧振點的位置發(fā)生偏移時，得出工藝波動的監(jiān)測結(jié)果。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國電子科技集團公司第五十五研究所，其通訊地址為：210016 江蘇省南京市秦淮區(qū)中山東路524號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。