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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)人民解放軍國(guó)防科技大學(xué)申請(qǐng)的專利芯片級(jí)微粒子真空腔室及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115200780B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210736715.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01L21/22；該發(fā)明授權(quán)芯片級(jí)微粒子真空腔室及其制備方法是由吳宇列;吳學(xué)忠;肖定邦;蒲俊吉;曾凱設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-06-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本芯片級(jí)微粒子真空腔室及其制備方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種芯片級(jí)微粒子真空腔室及其制備方法，真空腔室包括腔室本體、第一封裝層和第二封裝層，腔室本體包括第一腔室、第二腔室和第三腔室；第一腔室、第二腔室和第三腔室均以第一封裝層為底面，以第二封裝層為頂面，第一腔室頂端與第二封裝層之間還設(shè)有第三封裝層，第一腔室、第二腔室和第三腔室之間設(shè)有相互連通的通道；第一腔室內(nèi)裝有微粒子，微粒子不能通過(guò)通道轉(zhuǎn)移，第二腔室內(nèi)設(shè)有無(wú)引線真空度檢測(cè)傳感器，無(wú)引線真空度檢測(cè)傳感器為具有磁性的懸臂梁，第三腔室內(nèi)裝有吸氣劑。制備方法包括制備腔室本體、封裝層、懸臂梁，并進(jìn)行組裝。本發(fā)明的芯片級(jí)微粒子真空腔室體積小、無(wú)外部引線，設(shè)計(jì)加工難度低。

本發(fā)明授權(quán)芯片級(jí)微粒子真空腔室及其制備方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種芯片級(jí)微粒子真空腔室，其特征在于，包括腔室本體1、第一封裝層21和第二封裝層22，腔室本體1包括第一腔室11、第二腔室12和第三腔室13，所述第一腔室11、第二腔室12和第三腔室13均以第一封裝層21為底面，以第二封裝層22為頂面，所述第一腔室11頂端與第二封裝層22之間還設(shè)有第三封裝層23，所述第一腔室11、第二腔室12和第三腔室13之間設(shè)有相互連通的通道3；所述第一腔室11內(nèi)裝有微粒子4，所述微粒子4不能通過(guò)所述通道3轉(zhuǎn)移，所述第二腔室12內(nèi)設(shè)有無(wú)引線真空度檢測(cè)傳感器5，所述無(wú)引線真空度檢測(cè)傳感器5為具有磁性的懸臂梁，所述第三腔室13內(nèi)裝有吸氣劑6； 所述懸臂梁包括用于敏感真空度的懸臂端51、固定于第二腔室12側(cè)壁的固定端52和用于連結(jié)懸臂端51和固定端52的連結(jié)部53； 所述腔室本體1為硅基體，所述第一封裝層21、第二封裝層22及第三封裝層23為玻璃片。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中國(guó)人民解放軍國(guó)防科技大學(xué)，其通訊地址為：410073 湖南省長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)德雅路109號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。