江西理工大學周升國獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江西理工大學申請的專利一種提高CrAlN涂層耐磨抗腐蝕性能的后處理方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116043159B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310062457.4,技術領域涉及:C23C14/02;該發明授權一種提高CrAlN涂層耐磨抗腐蝕性能的后處理方法是由周升國;彭金勇;陳顥;張彤彤;肖錦設計研發完成,并于2023-01-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種提高CrAlN涂層耐磨抗腐蝕性能的后處理方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種耐磨抗腐蝕CrAlN涂層的循環熱處理方法,包括以下步驟:步驟S1:對基體材料進行預處理;步驟S2:對基體材料表面進行刻蝕,去除氧化層及雜質;步驟S3,在基體材料上沉積金屬Cr過渡層;步驟S4:在金屬Cr過渡層上沉積CrAlN涂層;步驟S5:對沉積CrAlN涂層的基體材料進行循環熱處理。本發明解決了現有普通CrAlN涂層無法在極端惡劣環境下使用的問題。
本發明授權一種提高CrAlN涂層耐磨抗腐蝕性能的后處理方法在權利要求書中公布了:1.一種提高CrAlN涂層耐磨抗腐蝕性能的后處理方法,其特征在于,包括以下步驟: 步驟S1:對基體材料進行預處理; 步驟S2:對基體材料表面進行刻蝕,去除氧化層及雜質; 步驟S3,在基體材料上沉積金屬Cr過渡層; 步驟S4:在金屬Cr過渡層上沉積CrAlN涂層; 步驟S5:對沉積CrAlN涂層的基體材料進行循環熱處理; 所述步驟S2具體為:將預處理后的基體材料置于多弧離子鍍沉積設備的腔體內,并進行抽真空處理,隨后在腔體內部通氬氣并保持在90~110sccm,分別選用-850~-950V、-1050~-1150V和-1151V~-1250V的沉積偏壓對基體材料表面進行刻蝕,去除氧化層及雜質; 所述步驟S3具體為:將已經去除氧化層及雜質的基體材料進行過渡層沉積,設置Cr靶電流為50~70A,基底偏壓-15~-25V,氬氣流量180~220sccm,沉積時間為8~12min,在基體材料上沉積上金屬Cr過渡層; 所述步驟S4具體為:利用多弧離子鍍沉積設備在已沉積金屬Cr過渡層的基體材料表面沉積CrAlN涂層,設置CrAl靶電流為55~65A,氬氣流量為180~220sccm,氮氣流量為500~700sccm,基底偏壓調至-20~-30V,沉積時間為110~130min,實現沉積單層CrAlN涂層,交替鍍制單層Cr涂層和單層CrAlN涂層,實現多層CrCrAlN涂層的制備; 所述步驟S5具體為:在大氣壓狀態下,CrAlN涂層先從常溫狀態逐步升溫至60℃,之后再降溫至低溫-20℃,整個過程中溫度誤差控制在±2℃,當熱循環次數達到5~7次后,停止溫度變化,在恒溫狀態下保溫10~14h;所述升溫速率為2℃min,降溫速率為1℃min;所有涂層的試驗環境濕度始終保持在80%,濕度偏差≤±2%R.H。
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