中國工程物理研究院電子工程研究所張照云獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國工程物理研究院電子工程研究所申請的專利一種石英微加速度計獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116519976B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310306799.6,技術領域涉及:G01P15/125;該發明授權一種石英微加速度計是由張照云;謝國芬;趙寶林;陳俊;黃健樹;王斌;沈朝陽;熊壯;楊杰;謝晉;王頡;屈名山;劉振華;王旭光設計研發完成,并于2023-03-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種石英微加速度計在說明書摘要公布了:本申請提供一種石英微加速度計,包括兩個邊極板和中間極板,邊極板上設置有邊部鍵合區、電容區和邊部電氣隔離區以及電容引線密封區;中間極板設置于兩個邊極板之間;中間極板上設置有中間鍵合區、質量塊、撓性梁、中間電極引線區、邊部電極引線區;邊部鍵合區和中間鍵合區對應設置;電容區和質量塊對應設置;電容引線密封區與邊部電極引線區的位置相對應設置。根據本申請的加速度計,能夠有效進行氣密性封裝。
本發明授權一種石英微加速度計在權利要求書中公布了:1.一種石英微加速度計,其特征在于,包括: 兩個邊極板;所述邊極板上設置有邊部鍵合區、電容區和邊部電氣隔離區以及電容引線密封區; 和中間極板2,所述中間極板2設置于兩個所述邊極板之間;所述中間極板2上設置有中間鍵合區21、質量塊22、撓性梁23、中間電極引線區25、邊部電極引線區;所述邊部鍵合區和所述中間鍵合區21對應設置;所述電容區和所述質量塊22對應設置;所述電容引線密封區與所述邊部電極引線區的位置相對應設置; 所述邊部電極引線區具有相背設置的第一表面和第二表面;所述邊部電極引線區具有側面;所述第一表面上和所述第二表面以及所述側面上均設置有金屬層;所述第一表面上的金屬層和所述第二表面上的金屬層以及所述側面上的金屬層電連接; 和或,所述中間電極引線區25具有相背設置的第一面和第二面,所述質量塊22的側面設置有金屬層;所述第一面和所述第二面上均設置有金屬層;所述質量塊22側面上的金屬層電連接所述第一面上的金屬層和所述第二面上的金屬層; 所述電容引線密封區的表面設置有金屬層;所述電容區的表面設置有金屬層,所述電容引線密封區表面的金屬層與所述電容區表面的金屬層連接。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中國工程物理研究院電子工程研究所,其通訊地址為:621000 四川省綿陽市綿山路64號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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