北京科益虹源光電技術有限公司陳文斌獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京科益虹源光電技術有限公司申請的專利一種金屬氟化物捕獲器及準分子激光器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116651616B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310632332.0,技術領域涉及:B03C3/34;該發明授權一種金屬氟化物捕獲器及準分子激光器是由陳文斌;劉斌;邢英金;吳勁松;張寅虎設計研發完成,并于2023-05-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種金屬氟化物捕獲器及準分子激光器在說明書摘要公布了:本發明提供了一種金屬氟化物捕獲器及準分子激光器,金屬氟化物捕獲器包括:缸體、風扇和增壓電機;所述缸體的中間設置有進氣口;所述缸體的兩端設置有增壓腔;所述增壓腔的側壁上設置有出氣口;所述風扇可轉動地設置在所述增壓腔內;所述增壓電機的動力輸出軸與風扇連接,帶動風扇轉動,用于迫使凈化處理后的工作氣體自出氣口排出。本申請通過在金屬氟化物捕獲器的缸體兩端增設增壓電機和風扇,利用風扇的高速轉動實現增壓的效果,從而增大回流放電腔的工作氣體流量,增強金屬氟化物捕獲器對金屬氟化物的過濾能力;在增壓增大氣流的同時,凈化后的工作氣體的循環對布儒斯特窗的吹掃除塵的能力大大提升,除塵效果也隨之提升。
本發明授權一種金屬氟化物捕獲器及準分子激光器在權利要求書中公布了:1.一種帶有金屬氟化物捕獲器的準分子激光器,其特征在于, 金屬氟化物捕獲器包括:缸體(100)、風扇(300)和增壓電機(200); 所述缸體(100)的中間設置有進氣口(101);所述缸體(100)的兩端設置有增壓腔(111); 所述增壓腔(111)的側壁上設置有出氣口(102); 所述風扇(300)可轉動地設置在所述增壓腔(111)內; 所述增壓電機(200)的動力輸出軸與風扇(300)連接,帶動風扇(300)轉動,用于迫使凈化處理后的工作氣體(1)自出氣口(102)排出; 準分子激光器還包括:放電腔(10); 所述放電腔(10)內設置有貫流風機(30); 所述缸體(100)的出氣口(102)通過氣路與放電腔(10)的進氣孔連接,自缸體(100)的出氣口(102)排出的工作氣體(1)流經布儒斯特窗片(3)內側面; 貫流風機(30)的兩端設置有軸盤(33);軸盤(33)的外側端通過連接軸和軸承可轉動地設置在放電腔(10)側壁上;其中一側的連接軸伸出放電腔(10)與風扇電機70連接;工作氣體(1)的回路出氣端即放電腔(10)的進氣孔面對軸盤(33)設置,軸盤(33)上設置有連通貫流風機(30)葉輪腔內外的通孔(36),自回路出氣端排出的工作氣體(1)經所述通孔(36)進入貫流風機(30)葉輪腔內,進而回流到放電腔(10)的腔體內。
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