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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣東工業(yè)大學(xué)申請(qǐng)的專利一種曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕加工方法及裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN117276063B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202311230415.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/306；該發(fā)明授權(quán)一種曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕加工方法及裝置是由龍杰才;陳桪;謝叢鍇;陳新;陳云;董善坤;姚敬松;勞斯德設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-09-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕加工方法及裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本申請(qǐng)屬于微納結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕加工方法及裝置；本申請(qǐng)?zhí)峁┑那坌凸杓{米結(jié)構(gòu)的刻蝕加工裝置利用控制系統(tǒng)控制入口蠕動(dòng)泵將組分添加容器中的刻蝕溶液輸入刻蝕容器刻蝕硅基體，并通過(guò)控制入口蠕動(dòng)泵和出口蠕動(dòng)泵的泵速，實(shí)現(xiàn)了不同刻蝕溶液的無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)，刻蝕溶液的組分濃度調(diào)節(jié)精確度高，從而提高了曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕精確度，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕精確度較低的技術(shù)問(wèn)題。

本發(fā)明授權(quán)一種曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕加工方法及裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種曲折型硅納米結(jié)構(gòu)的刻蝕加工裝置，其特征在于，包括：第一組分添加容器、第一入口蠕動(dòng)泵、第二組分添加容器、第二閥門(mén)、第三組分添加容器、第三閥門(mén)、第二入口蠕動(dòng)泵、刻蝕容器、出口蠕動(dòng)泵、控制系統(tǒng)； 所述第一入口蠕動(dòng)泵連通的入口所述第一組分添加容器，用于輸入第一組分添加容器中的刻蝕溶液； 所述第二入口蠕動(dòng)泵的入口通過(guò)第二閥門(mén)連通第二組分添加容器，用于輸入第二組分添加容器中的刻蝕溶液； 所述第二入口蠕動(dòng)泵的入口通過(guò)第三閥門(mén)連通第二組分添加容器，用于輸入第三組分添加容器中的刻蝕溶液； 所述刻蝕容器的入口與所述第一入口蠕動(dòng)泵的出口、第二入口蠕動(dòng)泵的出口連通，用于采用第一組分添加容器、第二組分添加容器、第三組分添加容器中的刻蝕溶液進(jìn)行刻蝕； 所述出口蠕動(dòng)泵的入口與所述刻蝕容器的出口連通，用于輸出刻蝕容器中的刻蝕溶液； 所述控制系統(tǒng)與所述第一入口蠕動(dòng)泵、所述第二入口蠕動(dòng)泵和所述出口蠕動(dòng)泵電連接，用于控制所述第一入口蠕動(dòng)泵、所述第二入口蠕動(dòng)泵和所述出口蠕動(dòng)泵的泵速。

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