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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)申請(qǐng)的專(zhuān)利狹縫噴嘴、基板處理裝置及基板處理方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN118629894B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202311446934.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)狹縫噴嘴、基板處理裝置及基板處理方法是由竹市祐実;塩田明仁;柏野翔伍設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-11-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本狹縫噴嘴、基板處理裝置及基板處理方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種狹縫噴嘴、基板處理裝置及基板處理方法，其在使刮刀相對(duì)于附著有處理液的狹縫噴嘴的前端部抵接的同時(shí)相對(duì)移動(dòng)時(shí)，可抑制所述前端部的處理液痕的產(chǎn)生或量。本發(fā)明滿足接觸角條件。即，滿足處理液相對(duì)于前端部的表面中與刮刀抵接的噴嘴側(cè)抵接區(qū)域的接觸角θn大于處理液相對(duì)于刮刀的表面中與前端部抵接的刮刀側(cè)抵接區(qū)域的接觸角θs的條件。因此，隨著刮刀的相對(duì)移動(dòng)，位于刮刀與狹縫噴嘴的前端部之間的處理液的移動(dòng)目的地主要為刮刀。在抵接軌跡上不殘存處理液，或者即便殘存，處理液的余量也比以往大幅減少。

本發(fā)明授權(quán)狹縫噴嘴、基板處理裝置及基板處理方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種狹縫噴嘴，具有延伸設(shè)置有用于噴出處理液的狹縫狀的噴出口的前端部，在從所述噴出口噴出所述處理液之后利用在與所述前端部抵接的同時(shí)沿所述噴出口的延伸設(shè)置方向相對(duì)移動(dòng)的刮刀，從所述前端部刮取所述處理液，所述狹縫噴嘴的特征在于， 具有對(duì)所述前端部實(shí)施了疏液處理的表面處理區(qū)域， 所述處理液相對(duì)于所述表面處理區(qū)域中與所述刮刀抵接的噴嘴側(cè)抵接區(qū)域的接觸角，大于所述處理液相對(duì)于所述刮刀的表面中與所述表面處理區(qū)域抵接的刮刀側(cè)抵接區(qū)域的接觸角， 所述表面處理區(qū)域的下方端，與所述刮刀相對(duì)于所述狹縫噴嘴的相對(duì)移動(dòng)時(shí)所述刮刀的上方端所描繪的抵接軌跡一致，或位于所述抵接軌跡下方， 且所述表面處理區(qū)域的上方端位于所述抵接軌跡上方。

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