新毅東(北京)科技有限公司張琪獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉新毅東(北京)科技有限公司申請的專利一種缺陷檢測裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119086439B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411209252.5,技術領域涉及:G01N21/01;該發明授權一種缺陷檢測裝置是由張琪;符友銀;徐靜靜設計研發完成,并于2024-08-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種缺陷檢測裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種缺陷檢測裝置,涉及光學檢測技術領域。照明光學系統被配置為,發射P偏振光的照明光束;第一偏振棱鏡被配置為,位于照明光學系統與第一四分之一波片之間的光路上,通過照明光束;第一四分之一波片被配置為,位于第一偏振棱鏡與待測物體之間,被待測物體的上表面反射的反射光束,再次經過第一四分之一波片后,變為S偏振光,經第一偏振棱鏡的反射,投射至成像系統;下光路反射組件被配置為,將透過待測物體的透射光束反射,投射至成像系統。本發明實施例實現同時檢測待測物體上下表面及內部缺陷,使缺陷檢測方案多樣化,通過多種方式組合檢測提高檢測精度。
本發明授權一種缺陷檢測裝置在權利要求書中公布了:1.一種缺陷檢測裝置,其特征在于,包括照明光學系統、第一偏振棱鏡、第一四分之一波片、成像系統和下光路反射組件; 所述照明光學系統被配置為,發射P偏振光的照明光束; 所述第一偏振棱鏡被配置為,位于所述照明光學系統與所述第一四分之一波片之間的光路上,通過所述照明光束; 所述第一四分之一波片被配置為,位于所述第一偏振棱鏡與待測物體之間,被所述待測物體的上表面反射的反射光束,再次經過所述第一四分之一波片后,變為S偏振光,經所述第一偏振棱鏡的反射,投射至所述成像系統; 所述下光路反射組件被配置為,將透過所述待測物體的透射光束反射,投射至所述成像系統; 所述下光路反射組件包括第二四分之一波片和第二偏振棱鏡,所述第二四分之一波片位于所述待測物體與所述第二偏振棱鏡之間; 所述第二四分之一波片被配置為,將所述透射光束轉變為S偏振光; 所述第二偏振棱鏡被配置為,反射所述透射光束,投射至所述成像系統; 還包括第一反射鏡、第二反射鏡和成像反射組件; 所述第一反射鏡位于所述第一偏振棱鏡與所述成像反射組件之間的光路上,被配置為將所述反射光束,投射至所述成像反射組件,經所述成像反射組件投射至所述成像系統; 所述第二反射鏡位于所述下光路反射組件與所述成像反射組件之間的光路上,被配置為將所述透射光束,投射至所述成像反射組件,經所述成像反射組件投射至所述成像系統; 所述成像反射組件包括選擇性偏振棱鏡,所述選擇性偏振棱鏡包括S偏振反射膜和P偏振反射膜; 所述下光路反射組件包括第二四分之一波片、第二偏振棱鏡和第一二分之一波片,所述第二四分之一波片位于所述待測物體與所述第二偏振棱鏡之間; 所述第二四分之一波片被配置為,將所述透射光束轉變為S偏振光; 所述第二偏振棱鏡被配置為,反射所述透射光束至所述第一二分之一波片;所述第一二分之一波片位于所述第二偏振棱鏡與所述第二反射鏡之間的光路上,被配置為將所述透射光束由S偏振光變為P偏振光。
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