深圳市路遠智能裝備有限公司袁虎獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市路遠智能裝備有限公司申請的專利芯片角度矯正擴膜裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119786377B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202411669316.X,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/67;該發(fā)明授權(quán)芯片角度矯正擴膜裝置是由袁虎;賈孝榮;鄧澤峰;陳金亮;付文定;張力平;李志武設(shè)計研發(fā)完成,并于2024-11-21向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本芯片角度矯正擴膜裝置在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了芯片角度矯正擴膜裝置,包括支撐座、環(huán)卡、擴環(huán)底座、擴膜固定座、擴膜驅(qū)動機構(gòu)和角度矯正機構(gòu),所述角度矯正機構(gòu)包括設(shè)置于支撐座上的軸承支撐組件和校準組件,所述校準組件包括步進電機、絲桿模組、校準絲桿底座和校準軸滑臺,所述步進電機用于驅(qū)動絲桿模組的絲桿轉(zhuǎn)動,所述校準軸滑臺與絲桿模組的螺母固定連接,且所述校準軸滑臺滑動連接于所述校準絲桿底座上,所述校準軸滑臺上設(shè)置有U型滑槽,所述擴環(huán)底座上設(shè)置有凸輪隨動器,所述凸輪隨動器連接于所述U型滑槽內(nèi);當所述校準軸滑臺移動時,所述凸輪隨動器于U型滑槽中移動并用于帶動所述擴環(huán)底座轉(zhuǎn)動。本發(fā)明的芯片角度矯正擴膜裝置,能夠快速矯正芯片的角度,矯正精度高。
本發(fā)明授權(quán)芯片角度矯正擴膜裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.芯片角度矯正擴膜裝置,包括支撐座、環(huán)卡、擴環(huán)底座、擴膜固定座、擴膜驅(qū)動機構(gòu)和角度矯正機構(gòu),所述環(huán)卡套接于所述擴膜固定座的外周,所述擴膜固定座固定連接于擴環(huán)底座上,所述擴膜驅(qū)動機構(gòu)安裝于支撐座上并用于帶動所述環(huán)卡靠近或遠離擴環(huán)底座移動,其特征在于: 所述角度矯正機構(gòu)包括設(shè)置于支撐座上的軸承支撐組件和校準組件,所述軸承支撐組件包括多個呈環(huán)形均勻分布的推力深溝球軸承,且多個所述推力深溝球軸承的外周面均設(shè)置有V型滑槽,所述擴環(huán)底座的側(cè)邊設(shè)置有多個環(huán)形凸沿,多個環(huán)形凸沿均以所述擴環(huán)底座的中心為圓心,且所述環(huán)形凸沿的縱截面形狀為V型,多個環(huán)形凸沿與多個V型滑槽一一對應(yīng),且環(huán)形凸沿滑動連接于V型滑槽內(nèi); 所述校準組件包括步進電機、絲桿模組、校準絲桿底座和校準軸滑臺,所述步進電機用于驅(qū)動絲桿模組的絲桿轉(zhuǎn)動,所述校準軸滑臺與絲桿模組的螺母固定連接,且所述校準軸滑臺滑動連接于所述校準絲桿底座上,所述校準軸滑臺上設(shè)置有U型滑槽,所述擴環(huán)底座上設(shè)置有凸輪隨動器,所述凸輪隨動器連接于所述U型滑槽內(nèi); 當所述校準軸滑臺移動時,所述凸輪隨動器于U型滑槽中移動并用于帶動所述擴環(huán)底座轉(zhuǎn)動; 所述推力深溝球軸承的數(shù)量為四個,其中,靠近所述校準軸滑臺的兩個所述推力深溝球軸承通過固定旋轉(zhuǎn)軸連接于所述支撐座上,另外兩個所述推力深溝球軸承通過偏向旋轉(zhuǎn)軸連接于所述支撐座上。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人深圳市路遠智能裝備有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市寶安區(qū)松崗街道潭頭社區(qū)芙蓉路9號二期3號樓101、201、301;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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