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龍圖騰網(wǎng)獲悉沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司申請(qǐng)的專利一種適用于半導(dǎo)體行業(yè)的快慢抽真空角閥獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119802242B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411692612.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F16K1/00；該發(fā)明授權(quán)一種適用于半導(dǎo)體行業(yè)的快慢抽真空角閥是由趙子旭;李加平;辛洪旭設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種適用于半導(dǎo)體行業(yè)的快慢抽真空角閥在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及真空角閥技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種適用于半導(dǎo)體行業(yè)的快慢抽真空角閥，包括波紋管、閥體和驅(qū)動(dòng)組件，閥體中心設(shè)置有與波紋管外形間隙配合的空腔，在空腔的底部和側(cè)面分別設(shè)置有通氣口，在波紋管的底部固定連接有波紋管下法蘭，在波紋管下法蘭上設(shè)置有與底部相通的徑向孔。該適用于半導(dǎo)體行業(yè)的快慢抽真空角閥通過(guò)串聯(lián)式氣缸結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)閥門的雙向開門運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)雙流導(dǎo)功能；同時(shí)規(guī)避了在升降運(yùn)動(dòng)過(guò)程中閥門整體尺寸的變化，從而減小了使用空間，增加產(chǎn)品外觀性；通過(guò)閥門開關(guān)過(guò)程的緩沖結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，從而規(guī)避了開關(guān)門過(guò)程中出現(xiàn)的金屬件的沖擊問(wèn)題，避免了機(jī)械顆粒的產(chǎn)生，提高了閥門的潔凈度。

本發(fā)明授權(quán)一種適用于半導(dǎo)體行業(yè)的快慢抽真空角閥在權(quán)利要求書中公布了：1.一種適用于半導(dǎo)體行業(yè)的快慢抽真空角閥，其特征在于，包括波紋管（7）、閥體（9）和驅(qū)動(dòng)組件，閥體（9）中心設(shè)置有與波紋管（7）外形間隙配合的空腔，在空腔的底部和側(cè)面分別設(shè)置有通氣口，在波紋管（7）的底部固定連接有波紋管下法蘭，在波紋管下法蘭上設(shè)置有與底部相通的徑向孔； 在驅(qū)動(dòng)組件的作用，當(dāng)波紋管下法蘭與空腔的底部貼緊且徑向孔不通時(shí)，空腔的底部通氣口與側(cè)面通氣口不相通；當(dāng)波紋管下法蘭與空腔的底部貼緊且徑向孔與底部相通時(shí)，空腔的底部通氣口與側(cè)面通氣口通過(guò)徑向孔連通，達(dá)到軟開門狀態(tài)；當(dāng)波紋管下法蘭與空腔的底部遠(yuǎn)離時(shí)，空腔的底部通氣口與側(cè)面通氣口通過(guò)波紋管下法蘭與空氣的底部空閑連通，達(dá)到硬開門狀態(tài)； 所述驅(qū)動(dòng)組件包括氣缸體（1）、主活塞（2）、氣缸蓋（4）、輔活塞（5）和芯軸（8），氣缸體（1）固定連接在閥體（9）的頂部，在氣缸體（1）內(nèi)氣密性地設(shè)置有主活塞（2），在氣缸體（1）的底部氣密性地固定連接有氣缸蓋（4），在氣缸體（1）分別設(shè)置有SOFT進(jìn)氣口和PUMP進(jìn)氣口，在氣缸蓋（4）的中心氣密性地可滑動(dòng)地安裝有輔活塞（5），在輔活塞（5）的頂部與主活塞（2）之間安裝有輔彈簧（3），在氣缸蓋（4）與波紋管下法蘭之間安裝有主彈簧（6），芯軸（8）的頂部與主活塞（2）固定連接，芯軸（8）依次穿過(guò)輔活塞（5）和波紋管下法蘭后芯軸（8）的底部設(shè)置在波紋管下法蘭的底部與徑向孔連通處，當(dāng)芯軸（8）的底部緊貼在波紋管下法蘭的底部時(shí)，波紋管下法蘭的底部與徑向孔不相通； 當(dāng)處于常閉狀態(tài)時(shí)，主彈簧（6）與輔彈簧（3）分別提供的預(yù)壓縮力，使波紋管下法蘭與空腔的底部貼緊且徑向孔不通；當(dāng)需打開軟抽功能時(shí)，對(duì)SOFT進(jìn)氣口通氣，主活塞（2）壓縮輔彈簧（3）向下運(yùn)動(dòng)，輔活塞（5）保持不動(dòng)，主活塞（2）使芯軸（8）向下運(yùn)動(dòng)，使常態(tài)下的芯軸（8）與波紋管下法蘭脫離，空腔底部和側(cè)面的兩個(gè)通氣口經(jīng)由波紋管下法蘭的徑向孔構(gòu)成導(dǎo)通態(tài)，達(dá)到軟開門狀態(tài)；當(dāng)需打開硬抽功能時(shí)，對(duì)PUMP進(jìn)氣口通氣，主活塞（2）會(huì)連帶芯軸（8）、波紋管下法蘭、輔活塞（5）向上運(yùn)動(dòng)，（6）壓縮主彈簧和壓縮波紋管（7），使波紋管下法蘭與閥體（9）脫離，空腔底部和側(cè)面的兩個(gè)通氣口直接導(dǎo)通，達(dá)到硬開門狀態(tài)。

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