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龍圖騰網獲悉中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利一種極紫外波段整機傳函測試裝置及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119533871B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411736450.7，技術領域涉及：G01M11/02；該發明授權一種極紫外波段整機傳函測試裝置及方法是由李欣鍇;何玲平;陳波;宋克非;張廣;任帥;張宏吉;王海峰;沈亨;門樹東設計研發完成，并于2024-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種極紫外波段整機傳函測試裝置及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及光學檢測技術領域，具體提供一種極紫外波段整機傳函測試裝置及方法，包括光源系統、平行光管、刀口靶標、二維平移臺、成像儀以及真空罐，光源系統包括用于產生極紫外波段光束能量來源的激光器和用于產生極紫外波段連續譜線的金屬靶，刀口靶標設置在二維平移臺上，刀口靶標安裝在平行光管的焦面位置，利用激光等離子體光源出射具有連續譜線的極紫外光束，使用具有成像儀同波段的平行光管，出射特定極紫外波段光束，將銳利刀口粘貼在平行光管焦面處，達到真空度后，點亮光源，移動二維平移臺尋找光斑最強位置并采集圖像并對圖像進行計算分析，得到成像儀的MTF曲線，該方法適用于測試所有極紫外波段有響應成像儀的MTF測試，操作簡單。

本發明授權一種極紫外波段整機傳函測試裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種極紫外波段整機傳函測試裝置，其特征在于，包括光源系統、平行光管、刀口靶標、二維平移臺、成像儀以及為測試裝置中所有設備提供目標真空度的真空罐，所述光源系統包括用于產生極紫外波段光束能量來源的激光器和用于產生極紫外波段連續譜線的金屬靶，所述刀口靶標設置在所述二維平移臺上，所述刀口靶標安裝在所述平行光管的焦面位置； 在粗對準階段下，將可見光光源放置在所述激光器的位置，根據前透鏡焦距初步確定透鏡位置，移動所述二維平移臺使得所述刀口靶標接近所述光源系統的出光位置，使得所述成像儀接收到所述刀口靶標； 在測試階段下，將所述激光器替換所述可見光光源，測試裝置中所有設備擰緊并檢查是否存在漏氣現象，將所述真空罐的真空度調整至目標真空度，開啟所述激光器，再次調節所述前透鏡的透鏡位置使得所述激光器的極紫外波段出射光束最亮，調節所述二維平移臺上所述刀口靶標在平移方向上的位置，使得所述刀口靶標的刀口位置對準所述極紫外波段出射光束的最亮位置，所述極紫外波段出射光束經過所述平行光管出射到所述成像儀上，所述成像儀開機并采集預定曝光時間的所述刀口位置圖像，將所述平行光管和所述成像儀之間的閥門關閉，所述成像儀采集暗場圖像，將所述刀口位置圖像減去所述暗場圖像得到待處理刀口圖像，對所述待處理刀口圖像進行分析得到所述成像儀調制傳遞函數MTF曲線。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院長春光學精密機械與物理研究所，其通訊地址為：130033 吉林省長春市經濟技術開發區東南湖大路3888號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。