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龍圖騰網(wǎng)獲悉安徽大學(xué)申請的專利一種超高真空用外驅(qū)動機構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119479770B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411869725.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G12B5/00；該發(fā)明授權(quán)一種超高真空用外驅(qū)動機構(gòu)是由陳思躍;王晨設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-18向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種超高真空用外驅(qū)動機構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種超高真空用外驅(qū)動機構(gòu)，包括真空室組件以及通過連接組件連接在真空室組件外的驅(qū)動組件。所述驅(qū)動組件能實現(xiàn)被驅(qū)動件的大行程移動和亞微米量級精度的的復(fù)位。所述驅(qū)動組件輸出端連接有被驅(qū)動件，所述被驅(qū)動件能夠伸入所述真空室組件內(nèi)。本發(fā)明中，通過將驅(qū)動機構(gòu)設(shè)計在超高真空外，使用波紋管連接以及刀口密封不僅可以避免驅(qū)動機構(gòu)對超高真空的污染，還可以實現(xiàn)對被驅(qū)動件的靈活驅(qū)動，同時驅(qū)動組件直接安裝于真空室組件上消除了驅(qū)動件因獨立支撐產(chǎn)生的誤差。通過螺栓調(diào)節(jié)組件的設(shè)置，能夠?qū)崿F(xiàn)驅(qū)動組件帶動被驅(qū)動件相對真空室組件的移動或轉(zhuǎn)動，從而適配被動驅(qū)動件的實際方位要求。

本發(fā)明授權(quán)一種超高真空用外驅(qū)動機構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種超高真空用外驅(qū)動機構(gòu)，其特征在于，包括真空室組件（1）、靶標球（7）、固定于真空室組件（1）法蘭上的固定底板（2）以及通過調(diào)節(jié)組件連接在真空室組件（1）外的驅(qū)動組件（5），所述驅(qū)動組件（5）的輸出端連接有被驅(qū)動件，所述被驅(qū)動件能夠伸入所述真空室組件（1）內(nèi)，所述驅(qū)動組件（5）能夠通過焊接波紋管（509）與真空室組件（1）耦合；所述調(diào)節(jié)組件包括垂直調(diào)節(jié)螺釘組（3）和橫向水平調(diào)節(jié)組（4）；所述垂直調(diào)節(jié)螺釘組（3）能夠驅(qū)動組件（5）Z方向位移、繞X軸轉(zhuǎn)動；所述橫向水平調(diào)節(jié)組（4）能夠驅(qū)動驅(qū)動組件（5）相對真空室組件（1）的X方向移動和繞Y軸、Z軸轉(zhuǎn)動；所述驅(qū)動組件（5）用于被驅(qū)動件撤出工作位置或返回至工作位置；所述靶標球（7）固定在驅(qū)動組件（5）上且位于真空室外，測量靶標球（7）中心位置能夠得到被驅(qū)動件的位置；所述驅(qū)動組件（5）安裝在真空室組件（1）的安裝法蘭（12）上；所述驅(qū)動組件（5）包括調(diào)節(jié)底板（501）、位移平臺底座（502）、精密位移平臺（503）、聯(lián)軸器（504）、步進馬達（505）、位移板（506）、傳動軸（507）、刀口法蘭（508）、焊接波紋管（509）；所述位移平臺底座（502）用螺釘固定安裝于調(diào)節(jié)底板（501）上，所述精密位移平臺（503）安裝于位移平臺底座（502）上，所述精密位移平臺（503）的兩個移動滑塊固定連接有位移板（506），所述位移板（506）通過傳動軸（507）與被驅(qū)動件相連，所述步進馬達（505）安裝于精密位移平臺（503）的末端，所述步進馬達（505）的輸出軸通過聯(lián)軸器（504）與精密位移平臺（503）的絲杠輸入軸傳動連接，所述刀口法蘭（508）與焊接波紋管（509）一端密封焊接，所述焊接波紋管（509）另一端與傳動軸（507）的末端密封焊接。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人安徽大學(xué)，其通訊地址為：230601 安徽省合肥市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)九龍路111號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。