上歐科技(湖州)有限公司;蘇州波渺微測科技有限公司高涵獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上歐科技(湖州)有限公司;蘇州波渺微測科技有限公司申請的專利基于多維數據分析的TFT導電粒子篩查方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120089225B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510154813.4,技術領域涉及:G16C20/20;該發明授權基于多維數據分析的TFT導電粒子篩查方法是由高涵;龔海;陳俊秀;沈海江;顧溢杰設計研發完成,并于2025-02-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于多維數據分析的TFT導電粒子篩查方法在說明書摘要公布了:基于多維數據分析的TFT導電粒子篩查方法,涉及半導體材料檢測技術領域。本發明是為了解決現有對TFT導電粒子的檢測方法存在效率低、準確性差的問題。本發明所述的基于多維數據分析的TFT導電粒子篩查方法,將待篩查TFT導電粒子的多維度數據輸入到訓練好的多維數據分析模型中,獲得篩查結果。多維數據分析模型融合了卷積神經網絡和循環神經網絡,前者對粒子圖像數據進行特征提取,后者對融合后的多維度數據進行序列建模。模型能夠快速、精準地識別出符合特定標準的TFT導電粒子,大大提高了篩查效率和準確性,滿足大規模生產對導電粒子快速、精準篩查的需求。
本發明授權基于多維數據分析的TFT導電粒子篩查方法在權利要求書中公布了:1.基于多維數據分析的TFT導電粒子篩查方法,其特征在于,包括:將待篩查TFT導電粒子的多維度數據輸入到訓練好的多維數據分析模型中,獲得篩查結果; 所述訓練好的多維數據分析模型的訓練過程,包括: 將TFT導電粒子樣本的多維度數據作為訓練集,基于機器學習算法對所述多維數據分析模型進行訓練; 所述多維度數據包括:TFT導電粒子的尺寸信息、形狀信息、電學性能信息以及化學組成信息; 所述機器學習算法利用卷積神經網絡對TFT導電粒子的圖像數據進行尺寸形狀特征提取,然后將所述尺寸形狀特征與TFT導電粒子的電學性能信息和化學組成信息進行融合,再通過循環神經網絡對融合后的結果進行序列建模,獲得能夠識別出符合特定標準TFT導電粒子的多維數據分析模型; 所述多維度數據的獲取方法包括: 采用高精度電子顯微鏡獲取TFT導電粒子的尺寸信息; 利用掃描電子顯微鏡結合能譜分析方法獲取TFT導電粒子的二維輪廓,并通過重建算法生成三維形狀模型,獲得形狀信息; 通過四探針測試儀測量TFT導電粒子的電學性能信息; 通過X射線特征峰強度反演元素含量,獲得TFT導電粒子的化學組成信息; 所述電學性能信息包括電阻率和電導率: , , 其中,為實測電阻值,為TFT導電粒子在測量其電學性能時電流通過路徑的有效截面積,為探針間距。
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