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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市道格特科技有限公司申請的專利一種MEMS探針卡半自動PIN校正方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119916286B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510397540.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01R35/02；該發(fā)明授權(quán)一種MEMS探針卡半自動PIN校正方法是由劉志華;陳沖設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-04-01向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種MEMS探針卡半自動PIN校正方法在說明書摘要公布了：本申請涉及半導(dǎo)體測試技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種MEMS探針卡半自動PIN校正方法，包括以下步驟：將探針卡固定在固定平臺上，通過操作界面調(diào)整大型工具顯微鏡的焦距和放大倍數(shù)，使探針顯示在圖像采集系統(tǒng)中；啟動圖像采集與處理系統(tǒng)，采集探針與目標(biāo)PIN點(diǎn)的初始圖像，并提取探針的位置和尺寸參數(shù)；裝置包括：大型工具顯微鏡，用于對探針進(jìn)行高分辨率成像并觀察探針與目標(biāo)PIN點(diǎn)的關(guān)系；探針卡固定平臺，用于固定探針卡。本發(fā)明采用基于高分辨率圖像采集與實(shí)時反饋調(diào)整的技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)了探針卡與目標(biāo)PIN點(diǎn)之間的精準(zhǔn)對準(zhǔn)，通過實(shí)時圖像反饋和精確的路徑優(yōu)化，確保探針卡在校準(zhǔn)過程中的每一步都能精確到位。

本發(fā)明授權(quán)一種MEMS探針卡半自動PIN校正方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種MEMS探針卡半自動PIN校正方法，其特征在于，包括以下步驟： 將探針卡固定在固定平臺上，通過操作界面調(diào)整大型工具顯微鏡的焦距和放大倍數(shù)，使探針顯示在圖像采集系統(tǒng)中； 啟動圖像采集與處理系統(tǒng)，采集探針與目標(biāo)PIN點(diǎn)的初始圖像，并提取探針的位置和尺寸參數(shù)； 根據(jù)預(yù)設(shè)的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，運(yùn)動控制系統(tǒng)自動調(diào)整探針卡的位置，使探針接近標(biāo)準(zhǔn)位置； 用戶通過操作界面進(jìn)行微調(diào)，用于調(diào)整探針的位置精度； 重復(fù)以上步驟，依次對探針卡上的多個探針進(jìn)行校準(zhǔn)； 校準(zhǔn)完成后，使用圖像采集與處理系統(tǒng)采集探針與目標(biāo)PIN點(diǎn)的最終圖像，并與校準(zhǔn)前的圖像進(jìn)行對比分析，同時通過實(shí)時圖像反饋調(diào)整探針卡路徑，用于探針卡精準(zhǔn)對準(zhǔn)目標(biāo)PIN點(diǎn)，并對探針卡移動的路徑進(jìn)行優(yōu)化； 探針卡移動的路徑優(yōu)化通過最優(yōu)控制理論與粒子群優(yōu)化算法結(jié)合進(jìn)行； 通過李雅普諾夫穩(wěn)定性理論分析探針卡移動的路徑的穩(wěn)定性，并進(jìn)一步調(diào)整路徑以驗(yàn)證路徑優(yōu)化效果，用于探針卡始終精確對準(zhǔn)目標(biāo)PIN點(diǎn)； 所述預(yù)設(shè)的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)包括： 探針與目標(biāo)PIN點(diǎn)之間的標(biāo)準(zhǔn)距離； 探針的標(biāo)準(zhǔn)角度范圍； 探針基板的對準(zhǔn)偏差容限； 所述路徑優(yōu)化與調(diào)整步驟包括： 根據(jù)計算的探針與目標(biāo)PIN點(diǎn)之間的偏差，生成初步路徑； 使用最優(yōu)控制理論調(diào)整路徑，使路徑符合預(yù)定的時間或能量消耗要求； 通過加速度、速度物理約束，調(diào)整路徑中的運(yùn)動參數(shù)； 實(shí)時反饋修正路徑，用于探針卡與目標(biāo)PIN點(diǎn)精確對準(zhǔn)； 所述最優(yōu)控制理論調(diào)整路徑步驟包括： 根據(jù)探針與目標(biāo)PIN點(diǎn)之間的偏差，設(shè)定路徑優(yōu)化目標(biāo)函數(shù)； 利用最優(yōu)控制理論求解路徑的時間最小化或能量最小化問題； 在求解過程中，通過加速度、速度物理約束，調(diào)整路徑的運(yùn)動軌跡； 生成最優(yōu)路徑并進(jìn)行實(shí)時更新，用于確保路徑符合控制要。

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