中國科學院西安光學精密機械研究所李思奇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院西安光學精密機械研究所申請的專利一種微納尺寸波片相位延遲量的測量裝置及測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120275010B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510765118.1,技術領域涉及:G01M11/02;該發明授權一種微納尺寸波片相位延遲量的測量裝置及測量方法是由李思奇;趙家祺;王國璽;張文富設計研發完成,并于2025-06-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種微納尺寸波片相位延遲量的測量裝置及測量方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種微納尺寸波片相位延遲量的測量裝置及測量方法,用于解決現有波片相位延遲量的測量方法存在的無法對微納尺寸下的波片進行表征和測量、光學檢測設備昂貴、整體實驗測量方案操作復雜、系統通用性較差,以及基于穆勒矩陣推導出波片相位延遲量的測量方案測量結果不穩定度較高的技術問題。本發明采用積分球對可調諧光源出射的光進行調制形成無偏光,再通過整形反射單元將無偏光整形為平面光束后正入射至第一線偏振片,以出射不同偏振角的完全線偏振光;同時在顯微物鏡和套筒透鏡之間設置第二線偏振片,通過調整第二線偏振片的檢偏角降低光強抖動、系統透過率和波片旋轉定位精度等因素對測量結果的干擾,有效保證了測量精度。
本發明授權一種微納尺寸波片相位延遲量的測量裝置及測量方法在權利要求書中公布了:1.一種微納尺寸波片相位延遲量的測量裝置,其特征在于: 包括可調諧光源(1)、積分球(2)、整形反射單元、第一線偏振片(8)、顯微物鏡(11)、第二線偏振片(12)、套筒透鏡(13)、探測器(14)以及計算機(15); 所述積分球(2)的入光口位于可調諧光源(1)的出光光路上,用于對可調諧光源(1)出射的光進行調制,使其轉化為強度均勻的無偏光后,從積分球(2)的出光口出射; 所述整形反射單元位于無偏光的出射光路上,用于將無偏光整形為平面光束,并調整平面光束方向,形成照明光; 所述第一線偏振片(8)位于照明光的光路上,通過第一線偏振片(8)在不同角度的旋轉將照明光轉換為帶有不同偏振角的完全線偏振光; 所述顯微物鏡(11)、套筒透鏡(13)、探測器(14)沿完全線偏振光的光路傳輸方向依次同軸設置,套筒透鏡(13)位于顯微物鏡(11)后的工作距離內,探測器(14)位于套筒透鏡(13)的焦點位置;待測波片(9)同軸設置于第一線偏振片(8)與顯微物鏡(11)之間,經第一線偏振片(8)的完全線偏振光用于對待測波片(9)進行照明,形成加載有待測波片(9)信息的光信號;顯微物鏡(11)和套筒透鏡(13)用于采集加載有待測波片(9)信息的光信號,并成像在探測器(14)上; 所述第二線偏振片(12),用于設置在顯微物鏡(11)和套筒透鏡(13)之間,使經顯微物鏡(11)放大的加載有待測波片(9)信息的光信號歸一化為同一個線偏振態; 所述計算機(15)的輸入端連接探測器(14)的輸出端,用于存儲探測器(14)獲取的圖像,并根據探測器(14)獲取的圖像確定待測波片(9)的相位延遲量。
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