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龍圖騰網獲悉江蘇集萃蘇科思科技有限公司申請的專利一種工件臺系統誤差的校正系統及校正方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120368851B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510856145.X，技術領域涉及：G01B11/00；該發明授權一種工件臺系統誤差的校正系統及校正方法是由曹敏;李依然;鄭蕭軒;李樹楠設計研發完成，并于2025-06-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種工件臺系統誤差的校正系統及校正方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種工件臺系統誤差的校正系統及校正方法，系統包括長條鏡、第一干涉儀、第二干涉儀和控制單元；長條鏡位于工件臺上，長條鏡包括一體連接的第一鏡面和第二鏡面，第一鏡面和第二鏡面之間存在預設夾角，控制單元分別與第一干涉儀和第二干涉儀電連接；第一干涉儀用于確定第一鏡面在第一光束上的第一位置信息；第二干涉儀用于確定第二鏡面在第二光束上的第二位置信息；控制單元用于接收第一位置信息和第二位置信息，結合目標位置點，確定工件臺的系統誤差，以確定工件臺的偏差補償表；在實際運行時利用偏差補償表對工件臺進行補償校正，以使校正后的系統誤差達到預設偏差范圍內。利用上述系統，實現了系統誤差校正，提高測量精度。

本發明授權一種工件臺系統誤差的校正系統及校正方法在權利要求書中公布了：1.一種工件臺系統誤差的校正系統，其特征在于，包括：長條鏡、第一干涉儀、第二干涉儀、基板和控制單元；所述長條鏡位于所述工件臺上，所述長條鏡包括一體連接的第一鏡面和第二鏡面，所述第一鏡面和所述第二鏡面之間存在預設夾角，所述第一干涉儀的出光方向與所述第一鏡面所在平面相交，所述第二干涉儀的出光方向與所述第二鏡面所在平面相交；所述控制單元分別與所述第一干涉儀、所述第二干涉儀和所述工件臺電連接；所述第一干涉儀和所述第二干涉儀位于所述基板相鄰兩側；所述基板上設置有第一滑軌，所述工件臺包括第一平臺和第二平臺，所述第一平臺上設置有第二滑軌，所述第一平臺位于所述第一滑軌上，所述第二平臺位于所述第二滑軌上；所述第一滑軌的延伸方向為第一方向，所述第二滑軌的延伸方向為第二方向，所述第一方向和所述第二方向垂直；所述基板包括多個目標位置點； 所述第一干涉儀用于發射第一光束，并在所述第一光束到達所述第一鏡面后產生第一反射光束，根據所述第一反射光束的相位變化確定所述第一鏡面在所述第一光束上的第一位置信息； 所述第二干涉儀用于發射第二光束，并在所述第二光束到達所述第二鏡面后產生第二反射光束，根據所述第二反射光束的相位變化確定所述第二鏡面在所述第二光束上的第二位置信息； 所述控制單元用于接收所述第一位置信息和所述第二位置信息，根據所述第一位置信息和所述第二位置信息，結合目標位置點，確定所述工件臺的系統誤差，根據所述系統誤差確定所述工件臺的偏差補償表；在實際運行時利用所述偏差補償表對所述工件臺進行補償校正，以使校正后的所述系統誤差達到預設偏差范圍內； 所述控制單元還用于在所述第一平臺和所述第二平臺之間的夾角不為正交角時對正交誤差角進行校正，所述正交誤差角為所述正交角與所述夾角之間的差值； 其中，所述第二位置信息包括所述工件臺處于當前目標位置點時所述第二干涉儀確定的第三位置信息和所述工件臺運動至下一目標位置點時所述第二干涉儀確定的第四位置信息；所述第一位置信息包括所述工件臺處于當前目標位置點時所述第一干涉儀確定的第五位置信息和所述工件臺運動至下一目標位置點時所述第一干涉儀確定的第六位置信息； 所述控制單元用于控制所述第二平臺沿所述第二滑軌從所述當前目標位置點運動至所述下一目標位置點，獲取所述第三位置信息和所述第四位置信息，確定所述第二鏡面相對所述第二方向正方向之間的第一偏差角；控制所述第一平臺沿所述第一滑軌從所述當前目標位置點運動至所述下一目標位置點，獲取所述第五位置信息和所述第六位置信息，確定所述第一鏡面與所述第一方向正方向之間的第二偏差角；控制所述第二平臺逆時針旋轉預設角度，確定旋轉后的所述第一偏差角和所述第二偏差角，并根據旋轉前的所述第一偏差角、所述第二偏差角和旋轉后的所述第一偏差角、所述第二偏差角確定所述長條鏡的正交偏差角，所述正交偏差角為正交角與所述預設夾角之間的差值；根據旋轉前的所述第一偏差角、所述第二偏差角和所述正交偏差角，確定所述工件臺的正交誤差角，并對所述正交誤差角進行校正。

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