華僑大學鄧朝暉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華僑大學申請的專利一種碳化硅研磨表面殘余應力預測方法及裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120449516B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510941051.2,技術領域涉及:G06F30/20;該發明授權一種碳化硅研磨表面殘余應力預測方法及裝置是由鄧朝暉;李松宴;楊曉;卓榮錦設計研發完成,并于2025-07-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種碳化硅研磨表面殘余應力預測方法及裝置在說明書摘要公布了:本申請提供的一種碳化硅研磨表面殘余應力預測方法及裝置,包括:獲取碳化硅材料的力學響應數據,以構建碳化硅仿真模型;設置研磨參數,用以對碳化硅仿真模型進行研磨受力模擬,得到初步的表面殘余應力預測結果;通過貝葉斯推斷方法和蒙特卡洛方法,基于初步的表面殘余應力預測結果和研磨參數,對碳化硅仿真模型的模型參數進行優化,得到最優模型參數;利用最優模型參數和研磨參數,對碳化硅仿真模型進行研磨受力模擬,得到優化的表面殘余應力預測結果。利用基于貝葉斯推斷方法和蒙特卡洛方法進行參數優化后的碳化硅仿真模型進行研磨受力模擬,得到優化的表面殘余應力預測結果,實現對碳化硅進行研磨后的表面殘余應力進行預測。
本發明授權一種碳化硅研磨表面殘余應力預測方法及裝置在權利要求書中公布了:1.一種碳化硅研磨表面殘余應力預測方法,其特征在于,包括: 獲取碳化硅材料的力學響應數據; 根據所述力學響應數據,構建得到碳化硅仿真模型; 設置研磨參數,用以對所述碳化硅仿真模型進行研磨受力模擬,得到初步的表面殘余應力預測結果; 基于所述初步的表面殘余應力預測結果,運用貝葉斯推斷方法,計算得到所述碳化硅仿真模型的模型參數的后驗分布:通過對所述研磨參數進行實際測量,得到實際的SiC殘余應力數據;構建JH-2模型的貝葉斯優化框架,設定所述JH-2模型的先驗分布為均勻分布,采用所述實際的SiC殘余應力數據構建高斯分布,衡量初步的表面殘余應力預測結果與實際的SiC殘余應力數據的擬合程度,利用貝葉斯方法構建的似然函數,以仿真預測值為先驗數據,以實際數據為似然數據,計算得到碳化硅仿真模型的模型參數的后驗分布; 通過蒙特卡洛方法,優化所述后驗分布,得到優化后的后驗分布:利用所述蒙特卡洛方法中的MH采樣方法,優化所述JH-2模型的參數,設定采樣初始值和自適應調整參數步長,并在每次迭代中生成候選參數,同時計算更新后所述JH-2模型的參數接受概率,采用作為接受準則,其中,為當前的模型參數,為更新后的模型參數,如果新參數符合優化條件,則更新模型參數,否則保留原參數值; 根據所述優化后的后驗分布,對所述碳化硅仿真模型的模型參數進行優化,得到最優模型參數; 利用所述最優模型參數,對所述碳化硅仿真模型進行優化,得到優化后的碳化硅仿真模型; 基于所述研磨參數,對所述優化后的碳化硅仿真模型進行研磨受力模擬,得到優化的表面殘余應力預測結果。
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