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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所申請的專利晶圓測試升降機構(gòu)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120463127B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510972609.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B66F7/14；該發(fā)明授權(quán)晶圓測試升降機構(gòu)是由牛文達;劉震宇;郭同健;王從敬;劉瑞起;王沖;王強龍;閆佳鈺;王一鶴;王曉明;高慶嘉;王丹丹設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-07-15向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本晶圓測試升降機構(gòu)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓測試升降機構(gòu)，包括：承載板；中心驅(qū)動裝置，中心驅(qū)動裝置位于承載板遠離承載面的一側(cè)，且中心驅(qū)動裝置的中心與承載板的中心正對，中心驅(qū)動裝置的自由端與承載板相連接，且中心驅(qū)動裝置的自由端可帶動承載板沿z軸方向進行升降運動；在中心驅(qū)動裝置四周間隔排布的四個支撐驅(qū)動裝置，四個支撐驅(qū)動裝置位于承載板遠離承載面的一側(cè)，且四個支撐驅(qū)動裝置與承載板的四個角一一對應(yīng)，支撐驅(qū)動裝置的自由端與承載板非連接接觸，且支撐驅(qū)動裝置的自由端與中心驅(qū)動裝置的自由端沿z軸方向同步升降。本發(fā)明至少可以滿足大負(fù)載以及偏載工況下的晶圓測試需求。

本發(fā)明授權(quán)晶圓測試升降機構(gòu)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓測試升降機構(gòu)，其特征在于，所述晶圓測試升降機構(gòu)通過底板與外部機構(gòu)連接，所述晶圓測試升降機構(gòu)包括： 承載板，所述承載板具有承載晶圓的承載面； 中心驅(qū)動裝置，所述中心驅(qū)動裝置位于所述承載板遠離所述承載面的一側(cè)，且所述中心驅(qū)動裝置的中心與所述承載板的中心正對，所述中心驅(qū)動裝置的自由端與所述承載板相連接，所述中心驅(qū)動裝置的自由端可帶動所述承載板沿z軸方向進行升降運動； 在所述中心驅(qū)動裝置四周間隔排布的四個支撐驅(qū)動裝置，所述四個支撐驅(qū)動裝置位于所述承載板遠離所述承載面的一側(cè)，且所述四個支撐驅(qū)動裝置與所述承載板的四個角一一對應(yīng)，所述支撐驅(qū)動裝置的自由端與所述承載板非連接接觸，且所述支撐驅(qū)動裝置的自由端與所述中心驅(qū)動裝置的自由端沿z軸方向同步升降。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所，其通訊地址為：130033 吉林省長春市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東南湖大路3888號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。