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龍圖騰網(wǎng)獲悉PSK控股公司申請的專利基板處理裝置及基板處理方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN115050685B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202110444016.1，技術領域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權基板處理裝置及基板處理方法是由樸鐘范設計研發(fā)完成，并于2021-04-23向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種根據(jù)基板或基板處理工藝控制在基板上安置的夾圈的個數(shù)，從而，能夠有效地防止基板的彎曲變形warpage的基板處理裝置及基板處理方法。根據(jù)本發(fā)明的實施例的基板處理裝置，包括：支撐卡盤，其用于支撐所述基板；及彎曲變形防止裝置，其在所述支撐卡盤上支撐的所述基板的周圍區(qū)域安置一個以上的夾圈，而向所述基板的周圍區(qū)域施加荷重，從而，防止所述基板的彎曲變形。所述彎曲變形防止裝置通過調(diào)整在所述基板的周圍區(qū)域安置的所述夾圈的個數(shù)而調(diào)整向所述基板的周圍區(qū)域施加的荷重。

本發(fā)明授權基板處理裝置及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，作為用于處理基板的基板處理裝置，其特征在于，包括： 支撐卡盤，所述支撐卡盤用于支撐所述基板；及 彎曲變形防止裝置，所述彎曲變形防止裝置在所述支撐卡盤上支撐的所述基板的周圍區(qū)域安置一個以上的夾圈，而向所述基板的周圍區(qū)域施加荷重，從而，防止所述基板的彎曲變形， 并且，所述彎曲變形防止裝置通過調(diào)整在所述基板的周圍區(qū)域安置的所述夾圈的個數(shù)而調(diào)整向所述基板的周圍區(qū)域施加的荷重， 其中，在所述基板的周圍區(qū)域安置的夾圈的個數(shù)是根據(jù)沿著所述支撐卡盤的周圍配置的多個銷的升降高度調(diào)整的；以及 其中，多個所述銷的升降高度是基于安置在所述支撐卡盤上的基板的材質(zhì)決定的。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢嗳?a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://iptop.www.hzsmkbearing.com.cn/list?keyword=PSK%E6%8E%A7%E8%82%A1%E5%85%AC%E5%8F%B8&temp=1">PSK控股公司，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。