圓益IPS股份有限公司李大成獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉圓益IPS股份有限公司申請的專利基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114496722B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110935566.3，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權基板處理方法是由李大成;權玹范;樸坰設計研發完成，并于2021-08-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種基板處理方法，更詳細地說，涉及改善在基板形成的薄膜的物理性質的基板處理方法。本發明的基板處理方法的一實施例包括：將基板運進第一腔室內的步驟；第一增壓步驟，提高所述第一腔室內的壓力，以使所述第一腔室內的壓力達到高于常壓的第一高壓；第一降壓步驟，降低所述第一腔室內的壓力，以使所述第一腔室內的壓力達到低于所述第一高壓且在常壓以上的第二高壓；第一增降壓反復執行步驟，將所述第一增壓步驟及所述第一降壓步驟反復執行預定次數；及第二降壓步驟，降低所述第一腔室內的壓力，以使所述第一腔室內的壓力達到低于常壓的第一低壓。
本發明授權基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，其特征在于，包括： 將基板運進第一腔室內的步驟； 第一增壓步驟，提高所述第一腔室內的壓力，以使所述第一腔室內的壓力達到高于常壓的第一高壓； 第一降壓步驟，降低所述第一腔室內的壓力，以使所述第一腔室內的壓力達到低于所述第一高壓且在常壓以上的第二高壓； 第一增降壓反復執行步驟，將所述第一增壓步驟及所述第一降壓步驟反復執行預定次數；及 第二降壓步驟，降低所述第一腔室內的壓力，以使所述第一腔室內的壓力達到低于常壓的第一低壓。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人圓益IPS股份有限公司，其通訊地址為：韓國京畿道平澤市振威面振威產團路75；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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