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龍圖騰網(wǎng)獲悉中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司申請(qǐng)的專利半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116031259B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111258439.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H10D84/83；該發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法是由鄭二虎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-10-27向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法，方法包括：提供基底，包括襯底、以及位于襯底上的鰭部，襯底包括第一器件區(qū)和第二器件區(qū)，第一器件區(qū)的器件工作電壓小于第二器件區(qū)的器件工作電壓，鰭部沿延伸方向包括溝道區(qū)；在第二器件區(qū)中，對(duì)溝道區(qū)的鰭部進(jìn)行減薄處理；在基底上形成橫跨溝道區(qū)的鰭部的偽柵結(jié)構(gòu)，包括柵氧化層、以及覆蓋柵氧化層的偽柵層；在偽柵層兩側(cè)的鰭部中形成源漏摻雜層；在襯底上形成層間介質(zhì)層，露出偽柵層頂部；去除第一器件區(qū)的偽柵結(jié)構(gòu)和第二器件區(qū)的偽柵層，形成柵極開(kāi)口；在柵極開(kāi)口中形成柵極結(jié)構(gòu)。本發(fā)明減小溝道區(qū)的鰭部寬度，以增大相鄰溝道區(qū)的鰭部之間的空間，從而提高柵極結(jié)構(gòu)的形成質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括： 襯底，包括第一器件區(qū)和第二器件區(qū)，所述第一器件區(qū)的器件工作電壓小于所述第二器件區(qū)的器件工作電壓； 鰭部，分別位于所述第一器件區(qū)和第二器件區(qū)的襯底上，沿所述鰭部的延伸方向，所述鰭部包括溝道區(qū)、以及位于所述溝道區(qū)兩側(cè)的非溝道區(qū)，部分高度的所述鰭部作為底部鰭部，剩余高度的所述鰭部作為有效鰭部，所述有效鰭部位于所述底部鰭部的頂部，其中，所述第二器件區(qū)中溝道區(qū)的有效鰭部側(cè)壁相對(duì)于同側(cè)的非溝道區(qū)的鰭部側(cè)壁向內(nèi)縮進(jìn)，所述第二器件區(qū)中溝道區(qū)的有效鰭部寬度小于非溝道區(qū)的鰭部寬度，且所述第一器件區(qū)中溝道區(qū)的有效鰭部寬度大于所述第二器件區(qū)中溝道區(qū)的有效鰭部寬度； 隔離層，位于所述鰭部側(cè)部的所述襯底上，所述隔離層覆蓋所述底部鰭部的側(cè)壁，且露出所述有效鰭部； 柵極結(jié)構(gòu)，位于所述隔離層上且橫跨所述有效鰭部，所述柵極結(jié)構(gòu)包括覆蓋所述溝道區(qū)的有效鰭部頂部和側(cè)壁的柵介質(zhì)層、以及覆蓋所述柵介質(zhì)層的柵電極層，所述第二器件區(qū)的柵介質(zhì)層厚度大于所述第一器件區(qū)的柵介質(zhì)層厚度； 側(cè)墻，位于所述柵極結(jié)構(gòu)的兩側(cè)并覆蓋所述柵極結(jié)構(gòu)的側(cè)壁； 源漏摻雜層，位于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的有效鰭部中，且位于所述側(cè)墻遠(yuǎn)離所述柵極結(jié)構(gòu)的一側(cè)。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)張江路18號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。