成都海光微電子技術有限公司詹揚揚獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉成都海光微電子技術有限公司申請的專利一種芯片良率的監測方法及裝置、電子設備、存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113987954B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111322816.2,技術領域涉及:G06F30/27;該發明授權一種芯片良率的監測方法及裝置、電子設備、存儲介質是由詹揚揚設計研發完成,并于2021-11-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種芯片良率的監測方法及裝置、電子設備、存儲介質在說明書摘要公布了:本發明實施例公開一種芯片良率的監測方法及裝置、電子設備、存儲介質,涉及半導體加工技術領域,能夠有效提高芯片良率監測的準確率和時效性。所述方法包括:根據芯片在預設測試中的測試結果,分別確定各監測對象的良率信息,其中,所述良率信息包括芯片良率和或良率損失,每個所述監測對象包括以下任一種:同一批次的芯片、同一晶圓上的芯片、同一晶圓上同一預設區域內的芯片;根據所述良率信息,將各所述監測對象劃分為至少兩個對象集合;從所述至少兩個對象集合中查找目標集合,以根據所述目標集合中各監測對象對應的工藝信息調整芯片工藝,其中,所述目標集合攜帶所述良率信息波動的預警信息。本發明可用于半導體加工的良率控制。
本發明授權一種芯片良率的監測方法及裝置、電子設備、存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種芯片良率的監測方法,其特征在于,包括: 根據芯片在預設測試中的測試結果,分別確定各監測對象的良率信息,其中,所述良率信息包括芯片良率和或良率損失,每個所述監測對象包括以下任一種:同一批次的芯片、同一晶圓上的芯片、同一晶圓上同一預設區域內的芯片; 根據所述良率信息,將各所述監測對象劃分為至少兩個對象集合; 從所述至少兩個對象集合中查找目標集合,以根據所述目標集合中各監測對象對應的工藝信息調整芯片工藝,其中,所述目標集合攜帶所述良率信息波動的預警信息; 其中,所述從所述至少兩個對象集合中查找目標集合包括以下至少一項: 根據各所述對象集合之間的所述良率信息的差異程度,從所述至少兩個對象集合中查找目標集合; 根據各所述對象集合中所包含的所述監測對象的數量,從所述至少兩個對象集合中查找目標集合; 根據各所述對象集合與預設集合規則的差異,從所述至少兩個對象集合中查找目標集合。
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