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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海精測(cè)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利一種深度學(xué)習(xí)模型的構(gòu)建方法及非線性坐標(biāo)轉(zhuǎn)換方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114387240B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111680738.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06T7/00；該發(fā)明授權(quán)一種深度學(xué)習(xí)模型的構(gòu)建方法及非線性坐標(biāo)轉(zhuǎn)換方法是由周全;李宜清;簡(jiǎn)曉敏;肖博翰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-12-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種深度學(xué)習(xí)模型的構(gòu)建方法及非線性坐標(biāo)轉(zhuǎn)換方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種深度學(xué)習(xí)模型的構(gòu)建方法及非線性坐標(biāo)轉(zhuǎn)換方法，構(gòu)建方法包括：獲取訓(xùn)練樣本集，訓(xùn)練樣本集中的訓(xùn)練樣本包括第一坐標(biāo)和第二坐標(biāo)，所述第一坐標(biāo)和第二坐標(biāo)分別為標(biāo)準(zhǔn)片任意一點(diǎn)分別在前序檢測(cè)設(shè)備和復(fù)查檢測(cè)設(shè)備的晶圓坐標(biāo)系中的坐標(biāo)；用第一坐標(biāo)作為輸入，第二坐標(biāo)作為輸出，訓(xùn)練得到深度學(xué)習(xí)模型；本發(fā)明實(shí)施例提供的一種深度學(xué)習(xí)模型的構(gòu)建方法，基于深度學(xué)習(xí)模型實(shí)現(xiàn)非線性坐標(biāo)之間的轉(zhuǎn)換，不需要進(jìn)行多次假設(shè)嘗試尋找合適的系數(shù)，轉(zhuǎn)換過程簡(jiǎn)單且可以自動(dòng)化實(shí)現(xiàn)，轉(zhuǎn)換結(jié)果精確。

本發(fā)明授權(quán)一種深度學(xué)習(xí)模型的構(gòu)建方法及非線性坐標(biāo)轉(zhuǎn)換方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種深度學(xué)習(xí)模型的構(gòu)建方法，其特征在于，所述構(gòu)建方法包括： 步驟1，獲取訓(xùn)練樣本集，所述訓(xùn)練樣本集中的訓(xùn)練樣本包括第一坐標(biāo)和第二坐標(biāo)，所述第一坐標(biāo)和第二坐標(biāo)分別為標(biāo)準(zhǔn)片的任意一點(diǎn)分別在前序檢測(cè)設(shè)備和復(fù)查檢測(cè)設(shè)備的晶圓坐標(biāo)系中的坐標(biāo)； 步驟2，基于深度學(xué)習(xí)算法，用所述第一坐標(biāo)作為輸入，所述第二坐標(biāo)作為輸出，訓(xùn)練得到深度學(xué)習(xí)模型； 所述步驟1中獲取所述訓(xùn)練樣本的過程包括： 制作包含多個(gè)標(biāo)志點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)片； 將所述標(biāo)準(zhǔn)片放入前序檢測(cè)設(shè)備中，獲取所述標(biāo)志點(diǎn)在晶圓坐標(biāo)系中的坐標(biāo)為所述第一坐標(biāo)； 將所述標(biāo)準(zhǔn)片放入復(fù)查檢測(cè)設(shè)備中，獲取所述標(biāo)志點(diǎn)在晶圓坐標(biāo)系中的坐標(biāo)為所述第二坐標(biāo)； 所述獲取所述標(biāo)志點(diǎn)在晶圓坐標(biāo)系中的坐標(biāo)為所述第二坐標(biāo)包括： 檢測(cè)出所述標(biāo)準(zhǔn)片上的標(biāo)志點(diǎn)在所述復(fù)查檢測(cè)設(shè)備的臺(tái)子坐標(biāo)系中的坐標(biāo)，根據(jù)轉(zhuǎn)換矩陣得到所述標(biāo)志點(diǎn)在所述復(fù)查檢測(cè)設(shè)備的晶圓坐標(biāo)系中的坐標(biāo)為所述第二坐標(biāo)。

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