京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方顯示技術有限公司李若堯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方顯示技術有限公司申請的專利激光退火窗裝置及激光退火設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114334739B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111662295.5,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權激光退火窗裝置及激光退火設備是由李若堯;路兆里;全祥皓;劉松林;熊月;易靖洋;劉曉鋒;陳科全;張蓯;江玲;王云飛;羅平;季子云;程正東設計研發完成,并于2021-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本激光退火窗裝置及激光退火設備在說明書摘要公布了:本公開一些實施例提供了一種激光退火窗裝置及激光退火設備,涉及顯示技術領域,用于改善激光退火工藝的工藝質量,以及提高激光退火窗裝置的使用壽命。所述激光退火窗裝置包括殼體、光學鏡組和至少一個驅動結構。殼體圍成容納腔。光學鏡頭設置于容納腔內;光學鏡頭沿第二方向延伸,光學鏡頭沿第三方向的尺寸小于容納腔沿第三方向的尺寸。第一方向垂直于參考面;第二方向平行于參考面;第三方向平行于參考面,且垂直于第二方向。沿第三方向,驅動結構設置于光學鏡頭的一側,被配置為驅動光學鏡頭在容納腔內沿第三方向運動。本公開一些實施例提供的激光退火窗裝置及激光退火設備用于制備顯示面板。
本發明授權激光退火窗裝置及激光退火設備在權利要求書中公布了:1.一種激光退火窗裝置,其特征在于,包括: 殼體,所述殼體圍成容納腔;所述殼體設有第一透光孔,沿第一方向,所述第一透光孔位于所述容納腔的一側,且所述第一透光孔與所述容納腔相通,所述第一透光孔沿第二方向延伸;所述第一方向垂直于參考面,所述第二方向平行于所述參考面,所述參考面平行于所述激光退火窗裝置所在的平面; 光學鏡頭,設置于所述容納腔內;所述光學鏡頭沿第二方向延伸,且與所述第一透光孔至少部分重疊,所述光學鏡頭沿第三方向的尺寸小于所述容納腔沿第三方向的尺寸;所述第三方向平行于所述參考面,且垂直于所述第二方向; 至少一個驅動結構,沿第三方向,所述驅動結構設置于所述光學鏡頭的一側,所述驅動結構被配置為驅動所述光學鏡頭在所述容納腔內沿第三方向運動; 其中,所述殼體包括: 外框,至少設置于所述光學鏡頭在第三方向上相對的兩側; 蓋板,沿第一方向,設置于所述外框和所述光學鏡頭的一側;所述蓋板包括: 蓋板主體,與所述參考面平行設置;沿第一方向,所述蓋板主體與所述外框之間具有間距,且所述第一透光孔設置于所述蓋板主體上;所述光學鏡頭靠近所述蓋板主體的一面與所述蓋板主體相接觸; 延伸部,至少與所述蓋板主體在第三方向上相對的兩側邊緣連接;所述延伸部的遠離所述蓋板主體的一端,與所述外框靠近所述蓋板主體的一側連接; 所述蓋板主體、所述延伸部和所述外框形成安裝間隙; 所述激光退火窗裝置還包括: 密封組件,設置于所述安裝間隙內;所述蓋板主體靠近所述光學鏡頭的一面、所述光學鏡頭的側面、及所述外框靠近所述蓋板主體的表面分別與所述密封組件相接觸,以密封所述第一透光孔與所述光學鏡頭之間的間隙;所述密封組件可沿第三方向發生形變,以配合所述光學鏡頭沿第三方向的運動。
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