臺灣積體電路制造股份有限公司李冠群獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利存放器系統及控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115494747B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210037472.9，技術領域涉及：G05B19/042；該發明授權存放器系統及控制方法是由李冠群;張慶榮;董啟峰;沈香吟設計研發完成，并于2022-01-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本存放器系統及控制方法在說明書摘要公布了：公開一種EUV存放器和一種EUV盒器件。EUV存放器包括AI驅動的動態控制電路、AI控制的安全聯鎖和獨立的回風控制器件。EUV存放器包括與一個或多個閥協同操作的質量流量控制MFC。EUV存放器還包括碳氫化合物檢測組合件、氧氣檢測組合件、壓力檢測組合件和溫度檢測組合件等，以保持EUV存放器內所需的條件。EUV存放器還包括例如AMHS、OHT、MR、AGV、RGV等自動化運輸器件，以為操作員提供安全的EUV掩模儲存環境。
本發明授權存放器系統及控制方法在權利要求書中公布了：1.一種存放器系統，包括： 儲存盒，配置為儲存一個或多個掩模，所述儲存盒包含在存放器中； 控制器，可操作地耦合到所述存放器系統，所述控制器被配置為控制進入所述儲存盒的氣流供應、所述存放器中的碳氫化合物濃度、所述儲存盒中的氧氣濃度、所述儲存盒內的濕度、所述儲存盒內的壓力或所述儲存盒中的溫度中的至少一個； 人工智能訓練電路，可操作地連接到所述控制器，所述人工智能訓練電路被配置為識別進入所述儲存盒的所述氣流供應、所述存放器中的所述碳氫化合物濃度、所述儲存盒中的所述氧氣濃度、所述儲存盒內的所述濕度，所述儲存盒內的所述壓力或所述儲存盒中的所述溫度中的至少一個的多個數據模式； 自動化機械，配置為將所述儲存盒移入和移出所述存放器；以及 安全聯鎖組合件，可操作地耦合到所述控制器，其中所述安全聯鎖組合件為進入所述存放器系統的獨立回風邊界的入口系統且所述安全聯鎖組合件包括： 操作員設備掃描組合件，配置為確定進入所述存放器系統的操作員的設備是否正常運行，其中所述設備為操作員面罩和用于所述操作員面罩的氧氣輸送管道或導管；以及 操作員標識符掃描組合件，配置為掃描進入所述存放器系統的操作員的標識。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人臺灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹科學工業園區新竹市力行六路八號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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