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龍圖騰網獲悉顯示器生產服務株式會社申請的專利處理液供給裝置和包括該處理液供給裝置的基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115020273B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210129163.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權處理液供給裝置和包括該處理液供給裝置的基板處理裝置是由樸庸碩;姜辰求設計研發完成，并于2022-02-11向國家知識產權局提交的專利申請。

本處理液供給裝置和包括該處理液供給裝置的基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供處理液供給裝置和包括該處理液供給裝置的基板處理裝置，與供給裝置的工作無關地使配管內的處理液不會殘留或滯留，從而可以防止細菌污染處理液并提高處理液的回收率，并提高所處理的基板的質量。本發明包括：用于噴射處理液的處理液噴射部；用于對儲存在處理液儲存槽中的處理液進行加壓并將其提供給處理液噴射部的處理液供給部；將處理液供給部和處理液噴射部連接的配管模塊，配管模塊包括：與處理液供給部連接的主管部；從主管部分支的多個分支管部；從分支管部分支并與處理液噴射部連接的多個排出管部，分支管部包括第一配管、第二配管、第三配管，并且不形成與豎直方向正交的水平區間。

本發明授權處理液供給裝置和包括該處理液供給裝置的基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種處理液供給裝置，其特征在于，包括： 用于噴射處理液的處理液噴射部； 用于對儲存在處理液儲存部中的處理液加壓并將其供給到所述處理液噴射部的處理液供給部；以及 將所述處理液供給部和所述處理液噴射部連接的配管模塊， 所述配管模塊包括：與所述處理液供給部連接的主管部；從所述主管部分支的多個分支管部；從所述分支管部分支并與所述處理液噴射部連接的多個排出管部；以及連接所述主管部和所述分支管部，或連接所述分支管部和所述排出管部的連接部件， 所述主管部從連接到所述處理液供給部的一端朝向連接到所述分支管部的另一端，整個區間朝上部方向傾斜配置，以避免形成與鉛垂方向正交的水平區間， 連接所述處理液儲存部和所述處理液供給部的配管形成為從連接到所述處理液儲存部的一端朝向連接到所述處理液供給部的另一端朝上部方向傾斜， 所述分支管部包括：沿鉛垂方向延長的第一配管；相對于鉛垂方向傾斜地延長的第二配管；以及彎曲形成以將所述第一配管和所述第二配管連接的第三配管， 所述第一配管、所述第二配管和所述第三配管不形成與鉛垂方向正交的水平區間，并且通過熔合結合為一體，具有與所述排出管部的內徑相同的內徑的分支口， 所述連接部件包括第一連接部、第二連接部、以及結合部件，以抑制所述分支口與所述排出管部之間的間隙形成， 所述第一連接部具有貫通孔，所述貫通孔貫通所述分支管部，以包圍形成有所述分支口的所述分支管部的一部分， 所述第二連接部從所述第一連接部突出形成，并且具有與所述貫通孔連通并由所述排出管部的端部插入的插入孔、和將插入到所述插入孔中的所述排出管部的端部的前端表面緊貼支撐的支撐臺， 所述第一連接部具有以所述第二連接部為基準切開相反側一部分區域并隔開配置的第一端部和第二端部， 所述結合部件將所述第一端部和所述第二端部連接，使所述第一端部和所述第二端部接近，并將所述第一連接部朝所述分支管部的中心方向進行加壓。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人顯示器生產服務株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。