細(xì)美事有限公司趙天洙獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉細(xì)美事有限公司申請(qǐng)的專利基板處理裝置的預(yù)熱方法及用于該方法的計(jì)算機(jī)程序獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115593098B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202210739874.3,技術(shù)領(lǐng)域涉及:B41J2/01;該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置的預(yù)熱方法及用于該方法的計(jì)算機(jī)程序是由趙天洙;高宇永設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-06-27向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本基板處理裝置的預(yù)熱方法及用于該方法的計(jì)算機(jī)程序在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供了能夠縮短預(yù)熱時(shí)間并且能夠同時(shí)執(zhí)行維護(hù)操作的基板處理裝置的預(yù)熱方法及用于該方法的計(jì)算機(jī)程序。所述基板處理裝置的預(yù)熱方法包括:設(shè)定與構(gòu)成基板處理裝置的預(yù)熱對(duì)象的預(yù)熱相關(guān)的參數(shù);以及基于參數(shù)對(duì)預(yù)熱對(duì)象進(jìn)行預(yù)熱的步驟,其中,預(yù)熱對(duì)象的移動(dòng)范圍限于可移動(dòng)范圍內(nèi)。
本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置的預(yù)熱方法及用于該方法的計(jì)算機(jī)程序在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基板處理裝置的預(yù)熱方法,包括: 設(shè)定與構(gòu)成基板處理裝置的預(yù)熱對(duì)象的預(yù)熱相關(guān)的參數(shù)的步驟;以及 基于所述參數(shù)來預(yù)熱所述預(yù)熱對(duì)象的步驟,以及 在與所述預(yù)熱的步驟同時(shí)對(duì)所述基板處理裝置執(zhí)行維護(hù)以校正基板處理液的噴出位置的步驟; 其中,所述預(yù)熱對(duì)象的移動(dòng)范圍限于可移動(dòng)范圍內(nèi), 所述執(zhí)行維護(hù)的步驟包括:測量所述基板處理液是否噴出和所述基板處理液的噴出位置,并且基于測量結(jié)果來校正所述基板處理液的噴出位置。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人細(xì)美事有限公司,其通訊地址為:韓國忠清南道;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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