華中科技大學(xué)段國韜獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉華中科技大學(xué)申請的專利一種Ga3+摻雜In2O3 MEMS甲醛傳感器的制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN116443918B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202310020747.2,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C01G15/00;該發(fā)明授權(quán)一種Ga3+摻雜In2O3 MEMS甲醛傳感器的制備方法是由段國韜;張彥林;張征;張宇;陳勁濤;呂國梁設(shè)計研發(fā)完成,并于2023-01-06向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種Ga3+摻雜In2O3 MEMS甲醛傳感器的制備方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明屬于氣體傳感器領(lǐng)域,具體公開了一種Ga3+摻雜In2O3MEMS甲醛傳感器的制備方法,包括以下步驟:S1將可溶性銦鹽、可溶性鎵鹽、尿素、弱酸強堿鹽與去離子水混合攪拌形成均一的混合溶液;S2將混合溶液在100?200℃的溫度下進(jìn)行水熱反應(yīng)2h?48h;S3將水熱產(chǎn)物在空氣氣氛下進(jìn)行退火熱處理,得到Ga3+摻雜In2O3材料。本發(fā)明通過對向In2O3材料中引入Ga3+摻雜,并控制Ga3+摻雜量不超過15%,摻雜后晶粒尺寸減小、晶體結(jié)構(gòu)發(fā)生變化由六方相氧化銦變?yōu)殡p相異質(zhì)結(jié)氧化銦;應(yīng)用于MEMS甲醛傳感器時,基于摻雜的“小尺寸”效應(yīng)和雙晶相異質(zhì)結(jié)的協(xié)同作用,能夠有效提高氧化銦MEMS甲醛傳感性能。
本發(fā)明授權(quán)一種Ga3+摻雜In2O3 MEMS甲醛傳感器的制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種Ga3+摻雜In2O3材料改變In2O3材料晶體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,包括以下步驟: (S1)將0.2500gInNO33·4.5H2O、0.3500g檸檬酸鈉、0.075g尿素依次加入40ml去離子水中,磁力攪拌;然后,再向其中加入0.0125g、0.0250g或0.0375g的GaNO33·xH2O,磁力攪拌形成均一的混合溶液; 或者:(S1)將0.100gInNO33·4.5H2O、0.1000g檸檬酸鈉、0.0050g尿素依次加入40ml去離子水中,磁力攪拌;然后,再向其中加入0.0050g、0.0100g、0.0150g的GaNO33·xH2O,磁力攪拌形成均一的混合溶液; 或者:(S1)將0.5000gInNO33·4.5H2O、0.5000g檸檬酸鈉、0.1000g尿素依次加入40ml去離子水中,磁力攪拌;然后,再向其中加入0.0250g、0.0500g、0.0750g的GaNO33·xH2O,磁力攪拌形成均一的混合溶液; (S2)將步驟(S1)得到的混合溶液轉(zhuǎn)移到反應(yīng)釜中,然后在100-200℃的溫度下進(jìn)行水熱反應(yīng)2h-48h; (S3)將步驟(S2)得到的水熱產(chǎn)物在空氣氣氛下進(jìn)行退火熱處理,所述退火熱處理是在空氣氣氛下于450℃退火溫度退火熱處理2小時,從而得到Ga3+摻雜In2O3材料;相較于不使用可溶性鎵鹽得到的不含Ga3+摻雜的純相六方相氧化銦,該Ga3+摻雜In2O3材料同時含有六方相In2O3和立方相In2O3。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人華中科技大學(xué),其通訊地址為:430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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