蘇州桔云科技有限公司洪成都獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州桔云科技有限公司申請的專利切邊晶圓傳輸裝置的對中定位機構及切邊晶圓傳輸裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116169078B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310066462.2,技術領域涉及:H01L21/68;該發明授權切邊晶圓傳輸裝置的對中定位機構及切邊晶圓傳輸裝置是由洪成都;任中辛設計研發完成,并于2023-01-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本切邊晶圓傳輸裝置的對中定位機構及切邊晶圓傳輸裝置在說明書摘要公布了:本發明涉及一種切邊晶圓傳輸裝置的對中定位機構及切邊晶圓傳輸裝置,包括兩組擋桿組件,擋桿組件包括兩個擋桿且兩個擋桿之間的間距大于切邊晶圓的切邊的邊長;兩組擋桿組件的四個擋桿位于一矩形的四個拐角點;驅動組件,其包括兩個驅動端,以分別與兩組擋桿組件連接;其中,驅動組件用于驅動兩組擋桿組件進行相向同速直線運動,當擋桿到達定位位置時,驅動組件停止驅動,且至少三個擋桿抵在切邊晶圓的圓周邊緣上,以對切邊晶圓進行對中定位。通過設置兩組擋桿組件及限定擋桿組件的兩個擋桿之間的間距大于切邊晶圓的切邊的邊長,通過兩組擋桿組件的相向同速直線運動即可實現對中定位,整體結構簡單且操作簡便。
本發明授權切邊晶圓傳輸裝置的對中定位機構及切邊晶圓傳輸裝置在權利要求書中公布了:1.一種切邊晶圓傳輸裝置的對中定位機構,其特征在于,包括: 兩組擋桿組件11,所述擋桿組件11包括兩個擋桿111且所述兩個擋桿111之間的間距大于切邊晶圓200的切邊的邊長;所述兩組擋桿組件11的四個所述擋桿111位于一矩形的四個拐角點; 驅動組件12,其包括兩個驅動端,以分別與兩組所述擋桿組件11連接; 其中,所述驅動組件12用于驅動兩組所述擋桿組件11垂直傳輸裝置的傳輸方向地進行相向同速直線運動,當所述擋桿111到達定位位置時,所述驅動組件12停止驅動,且至少三個所述擋桿111抵在所述切邊晶圓200的圓周邊緣上,以對所述切邊晶圓200進行對中定位。
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