華中科技大學陳建魁獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華中科技大學申請的專利一種基板氣浮平臺控制方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116374550B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310203108.X,技術領域涉及:B65G43/08;該發明授權一種基板氣浮平臺控制方法及系統是由陳建魁;孔德義;尹周平;陳偉設計研發完成,并于2023-03-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基板氣浮平臺控制方法及系統在說明書摘要公布了:本發明公開了一種基板氣浮平臺控制方法及系統,屬于新型顯示技術領域。本發明考慮到了對于大面積基板氣浮支撐系統,需要進行精度的檢測、控制和監控,才能保證基板氣浮連續運行的精度。因此考慮到了利用激光位移傳感器和力錘進行激勵和信號采集,通過數據處理的方式得到基板的固有頻率和基板底面與氣浮支撐表面的垂直高度,以對氣浮平臺的正壓、負壓進行調整,對基板氣浮平臺的精度進行檢測和控制,在連續運行過程中通過激光位移傳感器對氣浮平臺的運行狀態實時判定。如此能夠保證大面積、高精度顯示面板氣浮連續輸運的精度穩定和可測、可控、可調,尤其適用于利用噴墨打印制造高分辨率、大幅面顯示器、電子元器件等。
本發明授權一種基板氣浮平臺控制方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種基板氣浮平臺控制方法,其特征在于,包括以下步驟: S1,在基板上選擇若干激勵點和響應點,通過外力順序激勵各激勵點,采集各響應點的位移數據,并擬合得到對應的脈沖響應函數; S2,對所述脈沖響應函數進行傅里葉變換得到頻響函數,進一步計算得到基板的固有頻率; S3,測量各激勵點處基板底面與氣浮支撐表面的垂直高度; S4,通過比較S2計算的固有頻率與標準固有頻率,調整氣浮支撐的負壓;通過比較S3測量的垂直高度與標準垂直高度,調整氣浮支撐的正壓; S5,對連續運行中的基板底面與氣浮支撐表面的垂直高度進行測量,若與標準垂直高度的偏差超過閾值,則跳轉至S1。
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