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龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202310304847.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G05B13/04；該發(fā)明授權(quán)機(jī)臺(tái)參數(shù)調(diào)控方法、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)是由韓超;王娟設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-03-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

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本發(fā)明授權(quán)機(jī)臺(tái)參數(shù)調(diào)控方法、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種機(jī)臺(tái)參數(shù)調(diào)控方法，其特征在于，包括： 獲得當(dāng)前批晶圓在在先機(jī)臺(tái)的當(dāng)前晶圓狀況因素?cái)?shù)據(jù)和所述當(dāng)前批晶圓達(dá)到當(dāng)前機(jī)臺(tái)時(shí)所述當(dāng)前機(jī)臺(tái)的當(dāng)前機(jī)臺(tái)狀況因素?cái)?shù)據(jù)； 獲得所述當(dāng)前批晶圓在所述當(dāng)前機(jī)臺(tái)制作時(shí)的n個(gè)預(yù)設(shè)機(jī)臺(tái)控制參數(shù)，n為大于1的正整數(shù)； 通過(guò)訓(xùn)練完成的機(jī)器學(xué)習(xí)模型處理所述當(dāng)前晶圓狀況因素?cái)?shù)據(jù)、所述當(dāng)前機(jī)臺(tái)狀況因素?cái)?shù)據(jù)和n個(gè)預(yù)設(shè)機(jī)臺(tái)控制參數(shù)，獲得所述當(dāng)前批晶圓的n個(gè)當(dāng)前預(yù)測(cè)量測(cè)結(jié)果； 根據(jù)n個(gè)當(dāng)前預(yù)測(cè)量測(cè)結(jié)果和所述當(dāng)前批晶圓的目標(biāo)量測(cè)結(jié)果，從n個(gè)預(yù)設(shè)機(jī)臺(tái)控制參數(shù)中確定所述當(dāng)前批晶圓在所述當(dāng)前機(jī)臺(tái)制作時(shí)的目標(biāo)機(jī)臺(tái)控制參數(shù)。

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