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龍圖騰網(wǎng)獲悉長鑫存儲技術有限公司申請的專利晶圓臺壽命確定方法、電子設備和存儲介質(zhì)獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN116593195B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202310524445.9，技術領域涉及：G01M99/00；該發(fā)明授權晶圓臺壽命確定方法、電子設備和存儲介質(zhì)是由夏霜;韓超;蔡孟勳設計研發(fā)完成，并于2023-05-09向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本晶圓臺壽命確定方法、電子設備和存儲介質(zhì)在說明書摘要公布了：本公開是關于一種晶圓臺壽命確定方法、電子設備以及計算機可讀存儲介質(zhì)，涉及半導體生產(chǎn)與制造技術領域，可以應用于預測晶圓臺使用壽命的場景。該方法包括：獲取晶圓臺的使用時間數(shù)據(jù)，以及晶圓臺所加工晶圓的晶圓表面高度數(shù)據(jù)；將得到的晶圓均劃分為多個晶圓區(qū)域，根據(jù)使用時間數(shù)據(jù)、多個晶圓區(qū)域與晶圓表面高度數(shù)據(jù)，構建晶圓對應的表面高度統(tǒng)計模型；基于表面高度統(tǒng)計模型，確定各晶圓區(qū)域的晶圓表面高度與晶圓臺使用時長之間的第一關聯(lián)曲線；基于第一關聯(lián)曲線，確定晶圓臺的使用壽命閾值。本公開可以通過觀察晶圓各項指標與晶圓臺使用時長之間的相關性，對晶圓臺的使用壽命進行預測。

本發(fā)明授權晶圓臺壽命確定方法、電子設備和存儲介質(zhì)在權利要求書中公布了：1.一種晶圓臺壽命確定方法，其特征在于，包括： 獲取晶圓臺的使用時間數(shù)據(jù)，以及所述晶圓臺所加工晶圓的晶圓表面高度數(shù)據(jù)； 將得到的晶圓均劃分為多個晶圓區(qū)域，根據(jù)所述使用時間數(shù)據(jù)、所述多個晶圓區(qū)域與所述晶圓表面高度數(shù)據(jù)，構建所述晶圓對應的表面高度統(tǒng)計模型； 基于所述表面高度統(tǒng)計模型，確定各所述晶圓區(qū)域的晶圓表面高度與晶圓臺使用時長之間的第一關聯(lián)曲線； 根據(jù)所述使用時間數(shù)據(jù)、所述多個晶圓區(qū)域與所述晶圓表面高度數(shù)據(jù)，構建所述晶圓對應的邊緣滾降量模型，具體包括：將已完成區(qū)域劃分的晶圓，作為區(qū)域劃分晶圓；確定晶圓中心點，基于所述晶圓中心點每隔預設角度對所述區(qū)域劃分晶圓進行區(qū)域切割處理，得到多個切割扇形區(qū)域；基于所述切割扇形區(qū)域，確定所述晶圓對應的邊緣區(qū)域與非邊緣區(qū)域，所述邊緣區(qū)域為距離所述晶圓中心點大于指定距離的晶圓區(qū)域；從所述晶圓表面高度數(shù)據(jù)中，獲取每個所述邊緣區(qū)域?qū)膮^(qū)域表面高度，作為邊緣區(qū)域高度；根據(jù)所述使用時間數(shù)據(jù)與所述邊緣區(qū)域高度，構建所述邊緣滾降量模型； 基于所述邊緣滾降量模型，確定晶圓邊緣滾降量與晶圓臺使用時長之間的第二關聯(lián)曲線； 結合所述第一關聯(lián)曲線與所述第二關聯(lián)曲線，確定所述晶圓臺的使用壽命閾值。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢嗳?a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://iptop.www.hzsmkbearing.com.cn/list?keyword=%E9%95%BF%E9%91%AB%E5%AD%98%E5%82%A8%E6%8A%80%E6%9C%AF%E6%9C%89%E9%99%90%E5%85%AC%E5%8F%B8&temp=1">長鑫存儲技術有限公司，其通訊地址為：230601 安徽省合肥市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)空港工業(yè)園興業(yè)大道388號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。