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龍圖騰網(wǎng)獲悉廣東省科學(xué)院測試分析研究所(中國廣州分析測試中心)申請的專利一種微波等離子體源多模式氣體切換裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN117438276B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202311269766.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)一種微波等離子體源多模式氣體切換裝置及方法是由雷永乾;梁維新;郭鵬然;陳宇萍;陳江韓設(shè)計研發(fā)完成，并于2023-09-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種微波等離子體源多模式氣體切換裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及微波等離子體源切換技術(shù)領(lǐng)域，特指一種微波等離子體源多模式氣體切換裝置及方法。一種微波等離子體源多模式氣體切換裝置，包括有氣體控制裝置，氣體控制裝置包括有至少兩條氣路和控制檢測裝置；每條氣路均包括有進氣口和出氣口，且在進氣口和出氣口之間依次連接有脈沖閥和開關(guān)閥；控制檢測裝置包括有控制PCB，控制PCB分別與多個脈沖閥和多個開關(guān)閥相連接；每兩條氣路可通過連接通道相連接。本發(fā)明通過脈沖閥和開關(guān)閥組合，實現(xiàn)兩種以上氣體的比例混合、氣流快速切換及流量穩(wěn)定調(diào)節(jié)，且本發(fā)明在氣體混合控制方面具有混合模式多，氣體控制響應(yīng)快，模塊集成度高，擴展方便和穩(wěn)定性高的特點。

本發(fā)明授權(quán)一種微波等離子體源多模式氣體切換裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種微波等離子體源多模式氣體切換裝置，其特征在于，包括有氣體控制裝置，所述氣體控制裝置包括有至少兩條氣路和控制檢測裝置； 每條所述氣路均包括有進氣口和出氣口，且在所述進氣口和所述出氣口之間設(shè)置有至少兩個控制閥，至少兩個所述控制閥用于控制對應(yīng)的所述氣路的氣體流量和切換對應(yīng)的所述氣路的進氣狀態(tài)； 所述氣體控制裝置還包括有連接氣路，所述連接氣路的兩端分別連通兩條所述氣路； 所述控制檢測裝置包括有控制PCB，所述控制PCB分別與多個所述控制閥相連接；至少兩個所述控制閥分別為脈沖閥和開關(guān)閥； 每條所述氣路依次包括有依次連通的所述進氣口、所述脈沖閥、所述開關(guān)閥和所述出氣口；或，每條所述氣路包括有依次連通的所述進氣口、所述開關(guān)閥、所述脈沖閥和所述出氣口。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人廣東省科學(xué)院測試分析研究所(中國廣州分析測試中心)，其通訊地址為：510070 廣東省廣州市越秀區(qū)先烈中路100號34幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。