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龍圖騰網(wǎng)獲悉華僑大學申請的專利一種研磨輪以及磨拋設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN223301469U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202421691020.3，技術領域涉及：B24B37/00；該實用新型一種研磨輪以及磨拋設備是由孫林林;陸靜;汪坤樸;施嘉怡;麥子宏設計研發(fā)完成，并于2024-07-17向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本一種研磨輪以及磨拋設備在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種研磨輪以及磨拋設備，其中，一種研磨輪包括同軸設置的外殼、外拋輪組件以及內(nèi)磨輪組件；外殼設有用于連接直線驅動裝置的連接部；外拋輪組件包括相接合套筒以及環(huán)形外拋輪；內(nèi)磨輪組件包括相接合的主軸以及內(nèi)磨輪，主軸其中一端穿出外殼用于連接旋轉驅動裝置，內(nèi)磨輪置于外拋輪的環(huán)形內(nèi)，外拋輪與內(nèi)磨輪通過鍵連接；研磨輪在第一工作狀態(tài)時，內(nèi)磨輪凸出于外拋輪，內(nèi)磨輪組件通過旋轉驅動裝置驅動旋轉，使內(nèi)磨輪對晶圓進行研磨；在第二工作狀態(tài)時，直線驅動裝置驅動外拋輪組件下移，使外拋輪凸出于內(nèi)磨輪，內(nèi)磨輪組件通過旋轉驅動裝置驅動旋轉，并通過鍵連接帶動外拋輪組件旋轉，使外拋輪對晶圓進行研磨。

本實用新型一種研磨輪以及磨拋設備在權利要求書中公布了：1.一種研磨輪，其特征在于，包括同軸設置的外殼、外拋輪組件以及內(nèi)磨輪組件； 所述外殼設有用于連接直線驅動裝置的連接部； 所述外拋輪組件包括套筒以及環(huán)形外拋輪，所述套筒一端與所述外殼轉動連接，另一端連接所述外拋輪，所述外拋輪內(nèi)側壁設有若干連接槽； 所述內(nèi)磨輪組件包括主軸以及內(nèi)磨輪，所述主軸貫穿所述套筒以及所述外殼，其中一端用于連接旋轉驅動裝置，另一端連接所述內(nèi)磨輪，所述內(nèi)磨輪置于所述外拋輪的環(huán)形內(nèi)，其外側壁設有與所述連接槽相適配的連接鍵； 所述研磨輪構造為：所述外殼能夠在直線驅動裝置驅動下，帶動所述外拋輪組件沿所述主軸的軸向做往復運動，在第一工作狀態(tài)時，所述內(nèi)磨輪凸出于所述外拋輪，所述內(nèi)磨輪組件通過旋轉驅動裝置驅動旋轉，使所述內(nèi)磨輪對晶圓進行研磨；在第二工作狀態(tài)時，所述外拋輪組件被驅動下移，使所述外拋輪凸出于所述內(nèi)磨輪，所述內(nèi)磨輪組件通過旋轉驅動裝置驅動旋轉，并通過所述連接鍵與所述連接槽的配合帶動所述外拋輪組件旋轉，使所述外拋輪對晶圓進行研磨。

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