蔚華科技股份有限公司楊耀州獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蔚華科技股份有限公司申請的專利鏡面反射載臺獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223308101U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421976552.1，技術領域涉及：G01N21/55；該實用新型鏡面反射載臺是由楊耀州;許瑞斌;趙彥錚設計研發完成，并于2024-08-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本鏡面反射載臺在說明書摘要公布了：一種鏡面反射載臺，包括一晶圓載臺，該晶圓載臺承載一晶圓，該晶圓具有紫外光到近紅外光范圍可穿透的物理特性，通過二階及高階三階以上非線性光學檢測該晶圓表面及內部的晶體缺陷；該晶圓載臺設一鏡面反射結構，該鏡面反射結構朝向該晶圓的下表面；該二階及高階非線性光學的一入射光作用于該晶圓，產生不等于入射光波長的訊號光，該訊號光在該鏡面反射結構上反射，成為不等于入射光波長的鏡面反射光，分析該鏡面反射光可判斷晶圓的晶體是否有瑕疵。通過該鏡面反射結構提高檢測靈敏度。
本實用新型鏡面反射載臺在權利要求書中公布了：1.一種鏡面反射載臺，包括一晶圓載臺，該晶圓載臺承載一晶圓，該晶圓具有紫外光到近紅外光范圍可穿透的物理特性，通過二階及高階非線性光學檢測該晶圓表面及內部的晶體缺陷； 其特征在于： 該晶圓載臺設一鏡面反射結構，該鏡面反射結構朝向該晶圓的下表面； 該鏡面反射結構設置成：該二階及高階非線性光學的一入射光作用于該晶圓，產生不等于入射光波長的訊號光，該訊號光在該鏡面反射結構上反射，成為不等于入射光波長的鏡面反射光，通過分析該鏡面反射光判斷晶圓的晶體是否有瑕疵。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蔚華科技股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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