鄭州合晶硅材料有限公司吳泓明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉鄭州合晶硅材料有限公司申請的專利一種改善硅片沉積氧化膜過程正面損傷的取片手臂獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223308977U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422458367.X，技術領域涉及：H01L21/683；該實用新型一種改善硅片沉積氧化膜過程正面損傷的取片手臂是由吳泓明;張理想;鐘佑生;黃郁璿;孫楠;冉彥芝設計研發完成，并于2024-10-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種改善硅片沉積氧化膜過程正面損傷的取片手臂在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種改善硅片沉積氧化膜過程正面損傷的取片手臂，包括手臂本體，還包括多個位于所述手臂本體上的支撐件；所述支撐件的硬度小于待取片的硅片；所述支撐件上設有弧形臺階，用于支撐所述硅片。本申請通過優化硅片傳送手臂的結構及材料，改善了300mm重摻硅片在背面氧化膜沉積過程中，取片手臂對硅片正面造成的損傷，另外可拆卸式支撐件設計，方便更換，降低了后續手臂維護成本。
本實用新型一種改善硅片沉積氧化膜過程正面損傷的取片手臂在權利要求書中公布了：1.一種改善硅片沉積氧化膜過程正面損傷的取片手臂，包括手臂本體，其特征在于，還包括多個位于所述手臂本體上的支撐件；所述支撐件的硬度小于待取片的硅片； 所述支撐件上設有弧形臺階，用于支撐所述硅片。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人鄭州合晶硅材料有限公司，其通訊地址為：451162 河南省鄭州市鄭州航空港經濟綜合實驗區規劃工業四路以南、華夏大道以西；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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