上海芯源微企業發展有限公司王榮祥獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海芯源微企業發展有限公司申請的專利一種基板處理系統獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223296788U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422726982.4，技術領域涉及：H01L21/677；該實用新型一種基板處理系統是由王榮祥;彭博;李澤;李爽;劉濤設計研發完成，并于2024-11-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基板處理系統在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種基板處理系統，包括多個工位、轉運裝置和傳送裝置；其中，轉運裝置設置在所述工位上，用于取放所述基板；傳送裝置沿所述多個工位的排布方向設置，用于將所述基板轉運至任意工位處，供所述轉運裝置取用。本實用新型的基板處理系統通過轉運裝置和傳送裝置配合完成基板的轉運工作，大幅度提高了基板的轉運效率。進一步的，在通過傳送裝置轉運所述基板的同時，不影響其他工位的正常工作，有效提高了基板轉運系統的效能。
本實用新型一種基板處理系統在權利要求書中公布了：1.一種基板處理系統，其特征在于，包括： 多個工位，所述多個工位間隔排布； 傳送裝置，沿所述多個工位的排布方向設置，所述傳送裝置包括用于裝載所述基板的傳送件；所述傳送件可沿所述多個工位的排布方向往復移動，用于將所述基板傳送至所述多個工位中任意一個所述工位對應的位置； 多個轉運裝置，與所述多個工位相對應，所述轉運裝置用于從與其對應的所述工位取出所述基板，并將所述基板放置在所述傳送件上；所述轉運裝置還用于從所述傳送件上取出所述基板，并將所述基板放置在與所述轉運裝置對應的所述工位上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海芯源微企業發展有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區中國(上海)自由貿易試驗區臨港新片區飛渡路1388號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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