濟南量子技術研究院;合肥國家實驗室燕軍祥獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉濟南量子技術研究院;合肥國家實驗室申請的專利一種可在真空下清潔碎屑的PVD設備清潔裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223292633U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422752199.5，技術領域涉及：C23C14/56；該實用新型一種可在真空下清潔碎屑的PVD設備清潔裝置是由燕軍祥;宿非凡;鄧輝;嚴凱;張海斌;秦文斌;孫瀟瑩;張夢雨;宗華;王亞萍設計研發完成，并于2024-11-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種可在真空下清潔碎屑的PVD設備清潔裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及一種可在真空下清潔碎屑的PVD設備清潔裝置，包括真空腔室，真空腔室內設有靶材承載平臺，真空腔室的側壁上具有開關門和破真空閥門，真空腔室的內部還設有清理機構和視覺檢測機構，清理機構包括三維傳動臂，還包括布置在真空腔室中的收屑盒，三維傳動臂的外端具有驅動機構，三維傳動臂的尾端設有清潔頭，三維傳動臂在靶材承載平臺和收屑盒之間往復移動以將收集的碎屑放入收屑盒中；視覺檢測機構包括顯微鏡，顯微鏡布置在靶材承載平臺的一側，視覺檢測機構還包括布置在顯微鏡的前端的活動擋板，可擋設在顯微鏡的圖像采集路徑中；實現在真空狀態下清潔設備腔體內部產生的碎屑，避免因碎屑的產生導致薄膜質量下降。
本實用新型一種可在真空下清潔碎屑的PVD設備清潔裝置在權利要求書中公布了：1.可在真空下清潔碎屑的PVD設備清潔裝置，包括真空腔室，真空腔室內設有靶材承載平臺，真空腔室的側壁上具有開關門和破真空閥門，其特征在于，所述真空腔室的內部還設有清理機構和視覺檢測機構，所述清理機構包括布置在真空腔室上的三維傳動臂，還包括布置在真空腔室中的收屑盒，三維傳動臂的外端具有驅動機構，三維傳動臂的尾端設有清潔頭，所述三維傳動臂在靶材承載平臺和收屑盒之間往復移動以將收集的碎屑放入收屑盒中；所述視覺檢測機構包括顯微鏡，所述顯微鏡布置在所述靶材承載平臺的一側，所述視覺檢測機構還包括布置在顯微鏡的前端的活動擋板，活動擋板往復移動可擋設在顯微鏡的圖像采集路徑中以避免碎屑撞擊顯微鏡，也可自顯微鏡的圖像采集路徑中脫離以用于檢測靶材承載平臺上的碎屑分布情況。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人濟南量子技術研究院;合肥國家實驗室，其通訊地址為：250101 山東省濟南市高新區舜華路747號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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