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龍圖騰網(wǎng)獲悉新毅東(北京)科技有限公司申請(qǐng)的專利一種光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)控制方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119535918B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411728458.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F9/00；該發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)控制方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)是由張琪;符友銀;鄧麗君;沈全安設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)控制方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)控制方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)，該方法包括：分別對(duì)光刻機(jī)的硅片載物臺(tái)和光罩版載物臺(tái)對(duì)應(yīng)的任務(wù)列表進(jìn)行任務(wù)初始化，確定第一任務(wù)列表和第二任務(wù)列表；并行執(zhí)行第一任務(wù)列表中的硅片上片任務(wù)和第二任務(wù)列表中的光罩版上版任務(wù)；基于預(yù)先建立的光刻機(jī)任務(wù)執(zhí)行結(jié)果與光刻機(jī)任務(wù)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系、硅片上片任務(wù)的執(zhí)行結(jié)果和光罩版上版任務(wù)的執(zhí)行結(jié)果，確定并執(zhí)行光罩版對(duì)準(zhǔn)任務(wù)；基于預(yù)先建立的光刻機(jī)任務(wù)執(zhí)行結(jié)果與光刻機(jī)任務(wù)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系和光罩版對(duì)準(zhǔn)任務(wù)的執(zhí)行結(jié)果，確定并執(zhí)行硅片對(duì)準(zhǔn)任務(wù)。通過(guò)本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，以實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)的自動(dòng)控制，能夠降低人工成本，提高光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)的精度和效率。

本發(fā)明授權(quán)一種光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)控制方法、裝置、設(shè)備及介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)控制方法，其特征在于，包括： 分別對(duì)光刻機(jī)的硅片載物臺(tái)對(duì)應(yīng)的任務(wù)列表和所述光刻機(jī)的光罩版載物臺(tái)對(duì)應(yīng)的任務(wù)列表進(jìn)行任務(wù)初始化，確定所述硅片載物臺(tái)待執(zhí)行的第一任務(wù)列表和所述光罩版載物臺(tái)待執(zhí)行的第二任務(wù)列表； 并行執(zhí)行所述第一任務(wù)列表中的硅片上片任務(wù)和所述第二任務(wù)列表中的光罩版上版任務(wù)； 基于預(yù)先建立的光刻機(jī)任務(wù)執(zhí)行結(jié)果與光刻機(jī)任務(wù)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系、所述硅片上片任務(wù)的執(zhí)行結(jié)果和所述光罩版上版任務(wù)的執(zhí)行結(jié)果，確定所述第二任務(wù)列表中的光罩版對(duì)準(zhǔn)任務(wù)，并執(zhí)行所述光罩版對(duì)準(zhǔn)任務(wù)； 基于預(yù)先建立的光刻機(jī)任務(wù)執(zhí)行結(jié)果與光刻機(jī)任務(wù)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系和所述光罩版對(duì)準(zhǔn)任務(wù)的執(zhí)行結(jié)果，確定所述第一任務(wù)列表中的硅片對(duì)準(zhǔn)任務(wù)，并執(zhí)行所述硅片對(duì)準(zhǔn)任務(wù)，以使光罩版上的圖案與硅片上的圖案處于對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。

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