北京東能良晶科技有限公司萬關良獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京東能良晶科技有限公司申請的專利一種APCVD沉積過程顆粒物控制系統及其方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119710628B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411903052.X,技術領域涉及:C23C16/44;該發明授權一種APCVD沉積過程顆粒物控制系統及其方法是由萬關良;張麒設計研發完成,并于2024-12-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種APCVD沉積過程顆粒物控制系統及其方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種APCVD沉積過程顆粒物控制系統,屬于常壓化學沉積技術領域,包括調控噴氣頭,所述調控噴氣頭的內部通過軸承安裝有多個轉軸,且轉軸的一端延伸至調控噴氣頭的外側,每個所述轉軸位于調控噴氣頭外側的一端均固定連接有傳動齒輪,所述轉軸的軸體中段固定固定連接有導風板,所述調控噴氣頭的頂部固定安裝有電動機一,所述電動機一的輸出軸末端固定連接有驅動齒輪,所述驅動齒輪和傳動齒輪的外側共同嚙合傳動連接有傳動齒條。本發明可以對導風板進行清潔,同時可以對用于導風板調節的傳動鏈條進行自動潤滑。
本發明授權一種APCVD沉積過程顆粒物控制系統及其方法在權利要求書中公布了:1.一種APCVD沉積過程顆粒物控制系統,包括調控噴氣頭(1),其特征在于:所述調控噴氣頭(1)的內部通過軸承安裝有多個轉軸(2),且轉軸(2)的一端延伸至調控噴氣頭(1)的外側,每個所述轉軸(2)位于調控噴氣頭(1)外側的一端均固定連接有傳動齒輪(3),所述轉軸(2)的軸體中段固定連接有導風板(4),所述調控噴氣頭(1)的頂部固定安裝有電動機一(6),所述電動機一(6)的輸出軸末端固定連接有驅動齒輪(7),所述驅動齒輪(7)和傳動齒輪(3)的外側共同嚙合傳動連接有傳動鏈條(5),所述調控噴氣頭(1)的內側且位于導風板(4)的前方設置有清潔組件(8),所述調控噴氣頭(1)的外側且位于傳動鏈條(5)的側邊固定連接有空心殼(9),所述空心殼(9)的內側上部設置有添油機構(13),所述空心殼(9)的內側下部設置有自動潤滑機構(14); 所述清潔組件(8)包括滑動連接于調控噴氣頭(1)內側的滑條(81),所述滑條(81)的內部貫穿滑動連接有滑桿(83),所述滑桿(83)的一端固定連接有限位球(84),所述滑桿(83)的另一端固定連接有清潔套(82),所述清潔套(82)滑動套接于導風板(4)的外側,所述滑條(81)遠離導風板(4)的一側上部固定連接有移動塊(85),所述調控噴氣頭(1)的內壁固定安裝有電動機二(86),所述電動機二(86)的輸出軸末端固定連接有螺紋軸(87),且螺紋軸(87)的另一端通過軸承安裝于調控噴氣頭(1)的內壁,所述螺紋軸(87)貫穿移動塊(85)且與移動塊(85)通過螺紋連接,所述滑條(81)遠離導風板(4)的一側下部固定連接有連接架(88),所述連接架(88)的末端固定連接有導向座(89),所述調控噴氣頭(1)的內側下部固定連接有導向桿(810),所述導向桿(810)貫穿導向座(89)且與導向座(89)滑動連接; 所述自動潤滑機構(14)包括固定連接于空心殼(9)內側底部的鏤空豎板(141),所述鏤空豎板(141)的右側固定連接有空心塊(142),所述空心塊(142)的內部滑動連接有滑塊(143),所述滑塊(143)遠離鏤空豎板(141)的一端固定連接有封油嘴(144)和滑銷(145),所述封油嘴(144)和滑銷(145)均與空心殼(9)滑動連接,所述滑銷(145)與傳動鏈條(5)接觸,所述傳動鏈條(5)的表面固定連接有凸塊(51); 所述空心塊(142)的內側設置有彈簧(146),所述彈簧(146)的一端與滑塊(143)固定連接,所述彈簧(146)的另一端固定連接于空心塊(142)的內表面; 所述滑塊(143)的側邊固定連接有導向塊(147),所述導向塊(147)與空心塊(142)滑動連接; 所述空心殼(9)的內部開設有出油孔(148),所述出油孔(148)的位置與封油嘴(144)對應。
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