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龍圖騰網(wǎng)獲悉昆山大川塑膠工業(yè)有限公司申請的專利一種晶圓載具的夾持調(diào)整裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119812092B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411909087.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/687；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓載具的夾持調(diào)整裝置及方法是由張偉;呂秀貞;屈保楠設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種晶圓載具的夾持調(diào)整裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及晶圓載具夾持技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種晶圓載具的夾持調(diào)整裝置及方法，包括晶圓載具架，晶圓載具架的內(nèi)側(cè)固定連接有卡接架；通過分別調(diào)節(jié)晶圓載具架兩側(cè)的螺紋柱，可以調(diào)節(jié)晶圓載具架的位置與角度，將晶圓載具架保持在水平位置放置，提高了卡接架內(nèi)的晶圓體的穩(wěn)定性，提高了晶圓載具架使用時的穩(wěn)定性；通過兩個頂防護架沿著晶圓載具架的頂部水平移動，提高晶圓載具架內(nèi)晶圓體的防護性，減少外力碰撞對晶圓載具架內(nèi)的晶圓體造成的碰撞影響；且利用內(nèi)過濾網(wǎng)可以將氣體內(nèi)含有的微塵顆粒物進行捕捉過濾，減少氣體中附帶的微塵顆粒物，將潔凈的氣體送入晶圓載具架內(nèi)，減少微塵顆粒物對晶圓載具架內(nèi)晶圓體表面造成的影響。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓載具的夾持調(diào)整裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓載具的夾持調(diào)整裝置，包括晶圓載具架（1），其特征在于：所述晶圓載具架（1）的內(nèi)側(cè)固定連接有卡接架（2），所述晶圓載具架（1）的兩側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)機構(gòu)（3），所述調(diào)節(jié)機構(gòu)（3）包括側(cè)斜板（301）、底軸承盤（302）和螺紋套筒（303），所述螺紋套筒（303）的內(nèi)側(cè)螺紋連接有螺紋柱（304），所述螺紋柱（304）的一端固定連接有底支撐臺（305）； 所述晶圓載具架（1）的一側(cè)設(shè)置有防護機構(gòu)（4），所述防護機構(gòu)（4）用于對晶圓載具架（1）的頂部進行防護； 所述晶圓載具架（1）的另一側(cè)設(shè)置有通風(fēng)機構(gòu)（5），所述通風(fēng)機構(gòu)（5）用于對晶圓載具架（1）的內(nèi)側(cè)進行通風(fēng)換氣； 所述防護機構(gòu)（4）包括側(cè)支護架（401）、底連接箱（402）和頂滑動軌（403），所述晶圓載具架（1）的兩側(cè)固定連接有側(cè)支護架（401），所述側(cè)支護架（401）的頂部固定連接在底連接箱（402）的底部，所述底連接箱（402）的一側(cè)固定連接有側(cè)固定架（4010），所述側(cè)固定架（4010）的一側(cè)活動連接有頂軸承盤（409），所述頂軸承盤（409）的一側(cè)活動連接有頂螺紋桿（408），所述頂螺紋桿（408）的一端固定連接有側(cè)握桿（4011），所述頂螺紋桿（408）的表面螺紋連接有側(cè)螺紋孔（4012），所述底連接箱（402）的頂部設(shè)置有連接架（404），所述連接架（404）的一側(cè)固定連接有頂防護架（4013），所述通風(fēng)機構(gòu)（5）包括連接外板（501）、連接筒（502）和頂固定架（503），所述晶圓載具架（1）的一側(cè)固定連接有連接外板（501），所述連接外板（501）的一側(cè)固定連接有連接筒（502），所述晶圓載具架（1）的外側(cè)設(shè)置有電機體（504），所述電機體（504）的輸出軸固定連接有側(cè)連接桿（505），所述側(cè)連接桿（505）的一端固定連接有側(cè)傳動桿（506），所述側(cè)傳動桿（506）的一端固定連接有傳動扇（507），所述晶圓載具架（1）的一側(cè)設(shè)置有過濾機構(gòu)（6），所述過濾機構(gòu)（6）包括連通環(huán)（601）、內(nèi)過濾網(wǎng)（602）和連接盤（603），所述連接筒（502）的一側(cè)固定連接有連通環(huán)（601），所述連通環(huán)（601）的內(nèi)側(cè)固定連接有內(nèi)過濾網(wǎng)（602）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人昆山大川塑膠工業(yè)有限公司，其通訊地址為：215300 江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)大通路999號4號廠房；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。