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龍圖騰網(wǎng)獲悉內(nèi)蒙古科學(xué)技術(shù)研究院申請(qǐng)的專利一種用于蒸鍍碲化鉍膜的蒸發(fā)速率可控的熱蒸鍍裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119932482B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510425314.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/26；該發(fā)明授權(quán)一種用于蒸鍍碲化鉍膜的蒸發(fā)速率可控的熱蒸鍍裝置是由雅茹罕;呂志嘉;楊挺;劉永茂;李文聰;張建軍設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-04-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種用于蒸鍍碲化鉍膜的蒸發(fā)速率可控的熱蒸鍍裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明屬于真空蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種用于蒸鍍碲化鉍膜的蒸發(fā)速率可控的熱蒸鍍裝置，包括由導(dǎo)電材料制備的蒸鍍主體、蒸鍍?cè)匆约拔挥谡翦冎黧w兩端的電極，所述蒸鍍主體內(nèi)部開設(shè)有腔室，所述蒸鍍?cè)垂潭ㄔ谇皇业囊欢嘶騼啥耍翦冎黧w遠(yuǎn)離蒸鍍?cè)吹囊欢嘶蛘翦冎黧w中部設(shè)有若干圓孔，所述蒸鍍主體由鎳鉻合金材質(zhì)的無縫管制備而成，所述電極為無縫管兩端經(jīng)縮口、壓扁一體成型制備而成。本發(fā)明的熱蒸鍍裝置蒸發(fā)速率可控，其一體成型的電極結(jié)構(gòu)、靈活的圓孔布局、特定的蒸鍍?cè)粗苽涔に嚰皟?yōu)化的蒸鍍主體結(jié)構(gòu)特別適用于制備高精度、高質(zhì)量的碲化鉍膜，設(shè)備技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，為下一代高性能熱電器件的產(chǎn)業(yè)化提供了顛覆性技術(shù)平臺(tái)。

本發(fā)明授權(quán)一種用于蒸鍍碲化鉍膜的蒸發(fā)速率可控的熱蒸鍍裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于蒸鍍碲化鉍膜的熱蒸鍍裝置的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： 1）蒸鍍?cè)吹闹苽洌喊促|(zhì)量比99：1稱取純度為4N的Bi2Te3粉末、Te粉末，將兩者混合后置于真空熔煉爐中，保持真空度為0.01Pa，在620℃下熔煉2h；保持凝固速率為0.05Ks冷卻至室溫并將產(chǎn)物破碎至200目后將其裝入模具，在200MPa下20min等靜壓成型獲得直徑24mm，厚度4mm的生坯，將其放入真空燒結(jié)爐，以5℃min升溫到450℃，保溫2h后隨爐冷卻至室溫，即得； 2）制備蒸鍍主體：選擇直徑25mm，長(zhǎng)徑比5:1~10:1，厚度0.05~0.5mm的鎳鉻合金無縫管，在無縫管內(nèi)部沉積一層厚度為2~5μm的Ti-Al2O3涂層，所述鎳鉻合金無縫管內(nèi)部形成腔室，在距無縫管的一端20mm處使用激光打孔形成均勻分布的2~10個(gè)圓孔，相鄰圓孔距離為0.5~2mm，所述圓孔的直徑不同，其中圓孔中小孔徑為0.02mm~0.1mm，大孔徑為0.2mm~0.5mm； 3）使用高溫陶瓷膠將蒸鍍?cè)垂潭ㄔ谇皇疫h(yuǎn)離圓孔的一端，在250℃固化30min，使用旋壓機(jī)對(duì)兩端進(jìn)行縮口并將縮口后的兩端壓扁形成一體成型電極； 所述熱蒸鍍裝置無需真空條件就能直接熱蒸鍍制備碲化鉍薄膜。

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