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龍圖騰網獲悉中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利一種基于差分補償的差動共焦測量方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120252578B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510747817.3，技術領域涉及：G01B11/26；該發明授權一種基于差分補償的差動共焦測量方法是由王之一;王建立;馮曉鵬;劉昌華;賈建祿;姚凱男設計研發完成，并于2025-06-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于差分補償的差動共焦測量方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種基于差分補償的差動共焦測量方法，屬于光學檢測技術領域。基于差分補償的差動共焦測量方法通過構建第一四象限探測器、第二四象限探測器的電壓差值和傾斜角度之間的函數模型，使用兩個四象限探測器和差動計算方法，獲取被測物的測量點的傾斜角度信息。提升現有的差動共焦顯微鏡的誤差補償能力，消除光學系統中的偏差，保證被測物角度測量結果的高精度與穩定性。減少光學元件和探測器的使用，降低了測量方法的復雜性，減小了誤差源，提高了測量方法的穩定性與精度。

本發明授權一種基于差分補償的差動共焦測量方法在權利要求書中公布了：1.一種基于差分補償的差動共焦測量方法，其特征在于，基于四象限探測器進行測量，所述差動共焦測量方法包括如下步驟： S1、將標準件置于差動共焦測量系統，將所述標準件按照預設的傾斜量轉動，分別采集不同傾斜角度時第一四象限探測器和第二四象限探測器的各個象限的電壓值；所述第一四象限探測器設置在焦前光路，所述第二四象限探測器設置在焦后光路； S2、根據所述各個象限的電壓值和不同傾斜角度，構建函數模型； S3、計算所述函數模型中：差分補償系數和差分針孔誤差項； S4、將被測物置于差動共焦測量系統，采集所述被測物的測量點在第一四象限探測器和第二四象限探測器的各個象限的電壓值，根據所述函數模型，獲取所述被測物的測量點的傾斜角度信息； 步驟S4中獲取所述測量點傾斜角度信息的計算公式為： 其中，k1、k2、k3、k4分別表示所述差分補償系數；θx、θy分別表示所述被測物的測量點在X軸方向和Y軸方向上的傾斜角度；分別表示所述被測物的測量點在所述第一四象限探測器上X軸方向和Y軸方向上的電壓差值；分別表示所述被測物的測量點在所述第二四象限探測器上X軸方向和Y軸方向上的電壓差值。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院長春光學精密機械與物理研究所，其通訊地址為：130033 吉林省長春市東南湖大路3888號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。