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龍圖騰網(wǎng)獲悉亦亨電子(上海)有限公司申請的專利一種物理氣相沉積靶材更換裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120400763B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510905022.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/22；該發(fā)明授權(quán)一種物理氣相沉積靶材更換裝置是由孫曉光;賈鵬寬;王杰;楊志翔設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-07-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種物理氣相沉積靶材更換裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及焊接技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種物理氣相沉積靶材更換裝置，包括設(shè)備基臺、靶材裝載單元、靶材遷移單元及輸出軌道。設(shè)備基臺設(shè)裝載腔口，裝載單元的承載臺體升降式安裝于基臺底部，穿過腔口外露，輸出軌道架設(shè)于腔口側(cè)沿。遷移單元含雙遷移軌道，兩側(cè)定位架同步滑動，各載夾持機件相對布置；第二定位架通過延伸頂架搭載惰性氣體補充器。裝置通過伺服電機與同步帶實現(xiàn)自動化遷移，升降與定位精度協(xié)同確保靶材安裝誤差，縮短更換周期及工藝調(diào)試時間。全程在基臺內(nèi)完成，減少人員接觸風(fēng)險，結(jié)合惰性氣體保護(hù)技術(shù)，提升生產(chǎn)效率與工藝穩(wěn)定性。

本發(fā)明授權(quán)一種物理氣相沉積靶材更換裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種物理氣相沉積靶材更換裝置，包括設(shè)備基臺（1）、靶材裝載單元（2）、靶材遷移單元（3）和靶材輸出軌道（4），其特征在于： 所述設(shè)備基臺（1）的臺面開設(shè)有裝載腔口（11），所述靶材裝載單元（2）包含承載基座（21）及設(shè)置于所述承載基座（21）頂部的承載臺體（22）；其中， 所述承載臺體（22）通過升降驅(qū)動機構(gòu)呈可升降式安裝于所述承載基座（21）上方，其臺面經(jīng)所述裝載腔口（11）貫穿所述設(shè)備基臺（1）臺面形成外露工作位，所述靶材輸出軌道（4）架設(shè)于所述裝載腔口（11）的臺面邊緣，且其輸送端面與所述承載臺體（22）的臺面保持共面銜接； 所述靶材遷移單元（3）包含平行設(shè)置于所述裝載腔口（11）兩側(cè)的遷移軌道（31），第一定位架（32）和第二定位架（33）分別通過滑移機構(gòu)對稱安裝于兩側(cè)遷移軌道（31）并構(gòu)成同步位移配合，各定位架均配置有朝向裝載腔口（11）軸線方向設(shè)置的夾持機件（34）； 所述第二定位架（33）頂部延伸設(shè)置有延伸頂架（35），所述延伸頂架（35）的懸臂端裝配有惰性氣體補充器（36），其噴氣端口朝向靶材裝載單元（2）的工作區(qū)域設(shè)置。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人亦亨電子(上海)有限公司，其通訊地址為：201600 上海市松江區(qū)中辰路225號第14幢一樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。