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龍圖騰網獲悉上海凱銳恩半導體科技有限公司申請的專利一種基于RSM和神經網絡的晶圓涂敷膠熱壓成型的控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120432416B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510927501.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種基于RSM和神經網絡的晶圓涂敷膠熱壓成型的控制方法是由金勇;全日龍;郭桂維;潘文武設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于RSM和神經網絡的晶圓涂敷膠熱壓成型的控制方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種基于RSM和神經網絡的晶圓涂敷膠熱壓成型的控制方法，屬于半導體制造裝備智能控制技術領域。本方法包括：通過響應面法構建基于雙層真空熱壓成型設備執行參數的TTV數學模型；利用遺傳算法根據目標TTV輸出初步執行參數；基于所述數學模型結合神經網絡利用所述初步執行參數獲得預測TTV；基于所述預測TTV進行遺傳算法的迭代，輸出最優執行參數；所述雙層真空熱壓成型設備執行所述最優執行參數完成晶圓涂敷膠的熱壓成型。本方法融合響應面法、遺傳算法和神經網絡，在物理約束條件下實現熱壓成型參數的高效優化，解決傳統熱壓成型工藝中參數優化困難的技術難題。

本發明授權一種基于RSM和神經網絡的晶圓涂敷膠熱壓成型的控制方法在權利要求書中公布了：1.一種基于RSM和神經網絡的晶圓涂敷膠熱壓成型的控制方法，其特征在于，包括： 通過響應面法構建基于雙層真空熱壓成型設備執行參數的TTV數學模型；所述數學模型： 其中，表示截距項，表示目標TTV，表示隨機誤差； 表示單個自變量對目標TTV的線性主效應，是對應自變量的系數； 表示單個自變量對目標TTV的非線性影響，是項系數； 表示交互項，反應兩個自變量之間的協同或拮抗作用對目標TTV的影響，和是互項系數； 利用遺傳算法根據目標TTV輸出初步執行參數；所述遺傳算法的適應度函數： 其中，為預測TTV，根據超出設備極限或不符生產規范的程度計算，為預設懲罰系數，表示目標TTV，表示精準度獎勵項，表示約束懲罰項； 基于所述數學模型結合神經網絡利用所述初步執行參數獲得預測TTV； 基于所述預測TTV進行所述遺傳算法的迭代，輸出最優執行參數； 所述雙層真空熱壓成型設備執行所述最優執行參數完成晶圓涂敷膠的熱壓成型。

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