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龍圖騰網獲悉蘇州智程半導體科技股份有限公司申請的專利一種用于半導體晶圓清洗回收設備及其回收方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120421274B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510926917.2，技術領域涉及：B08B3/14；該發明授權一種用于半導體晶圓清洗回收設備及其回收方法是由陳焱;趙天翔設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于半導體晶圓清洗回收設備及其回收方法在說明書摘要公布了：本發明涉及晶圓清洗回收技術領域，且公開了一種用于半導體晶圓清洗回收設備，包括：收集槽、濾網、廢料槽以及清潔組件，收集槽底部安裝有排料管，且排料管與收集槽內底部最低處連通；濾網固定安裝在收集槽內，且濾網遮住收集槽底部，同時濾網可對從其表面穿過的清洗劑進行過濾；廢料槽呈圓環形，且可拆卸的安裝在收集槽內壁上，同時濾網表面與廢料槽的上開口連通，廢料槽的內底面開設有貫穿的濾孔；清潔組件可對濾網表面進行刮掃清潔，且刮潔時會將刮潔下來的廢料輸送至廢料槽內，同時刮潔時還會同步從濾網下方對濾網上方吹氣；本申請，可有效保證對前端半導體清洗設備流出的清洗進行回收，避免清洗劑內的雜質堵塞濾網導致回收不暢的情況發生。

本發明授權一種用于半導體晶圓清洗回收設備及其回收方法在權利要求書中公布了：1.一種用于半導體晶圓清洗回收設備，其特征在于，包括： 收集槽（100），其底部安裝有排料管（110），且排料管（110）與收集槽（100）內底部最低處連通； 濾網（200），其固定安裝在收集槽（100）內，且濾網（200）遮住收集槽（100）底部，同時濾網（200）可對從其表面穿過的清洗劑進行過濾； 廢料槽（300），其呈圓環形，且可拆卸的安裝在收集槽（100）內壁上，濾網（200）表面與廢料槽（300）的上開口連通，廢料槽（300）的內底面開設有貫穿的濾孔； 清潔組件，其包括刮潔組件（400）、排料組件（500）以及反吹組件（600），刮潔組件（400）可對濾網（200）表面進行刮掃清潔，且刮潔組件（400）運轉時會驅使排料組件（500）運轉，排料組件（500）運轉可將刮潔組件（400）上刮下的廢料輸送至廢料槽（300）內，刮潔組件（400）運轉同步帶動反吹組件（600）運轉，反吹組件（600）運轉從濾網（200）下方對濾網（200）上方吹氣； 所述刮潔組件（400）包括刮條（410）以及驅動組件（420），刮條（410）轉動設置在濾網（200）上，且刮條（410）與濾網（200）表面接觸，同時刮條（410）轉動可刮走濾網（200）表面的截留的雜物，驅動組件（420）與刮條（410）連接，且通過驅動組件（420）驅使刮條（410）轉動； 所述驅動組件（420）包括電機（421）以及連接座（422），電機（421）固定安裝在收集槽（100）側面，連接座（422）轉動安裝在濾網（200）中間，刮條（410）與連接座（422）表面固定連接，且電機（421）輸出端與連接座（422）轉軸通過兩個傳動錐齒輪（423）的嚙合實現傳動，收集槽（100）的內部固定安裝有保護箱（424），其處于濾網（200）下方，且兩個傳動錐齒輪（423）均安裝在保護箱（424）內； 所述排料組件（500）包括絞龍（510）、安裝架（520）以及傳動組件（530），安裝架（520）固定安裝在刮條（410）上且可隨刮條（410）同步移動，絞龍（510）轉動安裝在安裝架（520）上，且刮條（410）轉動時從濾網（200）上刮下的雜物會聚攏在安裝架（520）中間，安裝架（520）靠近廢料槽（300）的端部設有出料口（540），且絞龍（510）轉動會帶動安裝架（520）中的雜物從出料口（540）排出并使其流至廢料槽（300），傳動組件（530）安裝在絞龍（510）轉軸與連接座（422）之間，且連接座（422）轉動時，會通過傳動組件（530）帶動絞龍（510）轉動； 所述傳動組件（530）包括固定錐齒輪（531）和轉動錐齒輪（532），連接座（422）內部設有空腔，所述固定錐齒輪（531）和轉動錐齒輪（532）均安裝在空腔內，固定錐齒輪（531）的轉軸延伸至收集槽（100）底部并與收集槽（100）固定連接，轉動錐齒輪（532）與連接座（422）連接并隨連接座（422）同步移動，且轉動錐齒輪（532）還可繞自身轉軸自轉，所述固定錐齒輪（531）和轉動錐齒輪（532）相互嚙合，同時絞龍（510）的轉軸延伸至空腔內，并與轉動錐齒輪（532）轉軸同軸連接； 所述反吹組件（600）包括吹氣管（610）以及供氣組件（620），吹氣管（610）與連接座（422）固定連接，且處于濾網（200）下方，吹氣管（610）的表面開設有若干出氣孔，且出氣孔朝向濾網（200），供氣組件（620）連接在吹氣管（610）與外部壓縮空氣之間，且吹氣管（610）隨連接座（422）轉動時，外部壓縮空氣可通過供氣組件（620）往吹氣管（610）供氣。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州智程半導體科技股份有限公司，其通訊地址為：215312 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮中華路889號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。