安徽熙泰智能科技有限公司朱平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽熙泰智能科技有限公司申請的專利一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111678676B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010656960.9,技術領域涉及:G01M11/02;該發明授權一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法是由朱平;趙錚濤;曹緒文;劉勝芳;祖偉;任清江;李雪原;宋蓋文;許麗華設計研發完成,并于2020-07-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法,其測試裝置包括電氣柜和設在電氣柜上的測試臺,所述測試臺上設有探針臺和位于探針臺上方可水平移動的龍門架,所述探針臺上設有用于去扎Wafer外圍PAD進行全屏點亮的兩根探針,所述龍門架的下部對應探針臺設有檢測相機和光譜儀。使用兩根探針扎到外圍PAD上給Die供電使Wafer全屏點亮,再使用面陣相機或TDI線陣相機對Wafer全屏進行快速成像分析,無需探卡,可快速測試使得TactTime較傳統自動探針臺測試硅基OLED降低76.8%,提高了測試效率,且不會對BondingPAD造成損壞。
本發明授權一種硅基OLED探針測試裝置及其測試方法在權利要求書中公布了:1.一種利用硅基OLED探針測試裝置的測試方法,其特征在于: 所述硅基OLED探針測試裝置包括電氣柜和設在電氣柜上的測試臺,所述測試臺上設有探針臺和位于探針臺上方可水平移動的龍門架,所述探針臺上設有用于去扎Wafer外圍兩個大PAD進行全屏點亮的兩根探針,所述龍門架的下部對應探針臺設有檢測相機和光譜儀;所述龍門架下部的檢測相機和光譜儀均為可沿豎直方向升降調節設置;所述檢測相機和光譜儀并排設置;所述探針為可移動設置的探針結構;所述龍門架為可沿XY方向移動的臺架; 所述測試方法包括以下步驟: Wafer外圍兩個大PAD設計在Wafer邊緣,每個Die上的扎針PAD通過走線集成連到Wafer外圍兩個大PAD上; Wafer放置在測試臺的探針臺上,利用探針臺自帶的兩根探針去扎Wafer外圍兩個大PAD進行全屏點亮; 全屏點亮后面陣或線陣相機進行Z軸焦距調整后沿XY方向對Wafer進行快速成像;相機快速成像后,光譜儀進行每個Die的光譜測試; 光譜儀測試完成后,Wafer進行加載運動,此時計算機系統開始處理測試數據輸出測試報告。
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