琳得科株式會社野島一馬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉琳得科株式會社申請的專利保護膜形成膜、保護膜形成用復合片及裝置的制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113206039B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110047614.5,技術領域涉及:H01L21/78;該發明授權保護膜形成膜、保護膜形成用復合片及裝置的制造方法是由野島一馬設計研發完成,并于2021-01-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本保護膜形成膜、保護膜形成用復合片及裝置的制造方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種即使在形成有保護膜的芯片等工件的加工品進一步被樹脂密封的情況下,也能夠提高密封樹脂與保護膜之間的粘合可靠性的保護膜形成膜及保護膜形成用復合片、以及使用該保護膜形成用復合片制造裝置的方法。所述保護膜形成膜是用于形成保護膜的保護膜形成膜,且以260℃加熱5分鐘后的保護膜的表面粗糙度Ra1為200nm以下。
本發明授權保護膜形成膜、保護膜形成用復合片及裝置的制造方法在權利要求書中公布了:1.一種保護膜形成膜,其是用于形成保護膜的保護膜形成膜,其中, 構成所述保護膜形成膜的保護膜形成用組合物含有包含丙烯酸樹脂的聚合物成分、熱固性成分及填充材料, 所述保護膜為熱固化物, 以260℃加熱5分鐘后的所述保護膜的表面粗糙度Ra1為200nm以下, 以260℃加熱5分鐘后的所述保護膜的水接觸角為107°以下。
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